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三光合一超宽波段高增透膜的制备方法

708   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:37:29
本发明公开的一种三光合一超宽波段高增透膜的制备方法,利用本方法可以实现可见光、近红外和中红外多个光学波段超宽范围的高增透镀膜的设计和镀制。提高膜层的防潮性能和抗激光损伤能力,及野外恶劣环境的使用寿命。本发明通过下述技术方案予以实现:(1)以氟化锂或氟化钡晶体材料为基底,用膜系设计公式G/4M6H2LM0.6L0.3M/A,计算每层膜的光学厚度值;(2)清洁被镀基底;(3)温烘烤基底;(4)用离子源在镀膜前和镀膜过程中轰击基底;(5)将Al2O3,SiO和MgF2三种膜料放入旋转电子枪蒸发源坩锅中,根据上述(1)的公式顺序和厚度值用光学真空镀膜机完成镀膜;(6)退火处理。本发明解决了在潮解软晶体材料上镀膜不牢的工艺难题。
声明：
“三光合一超宽波段高增透膜的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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