本发明涉及光电集成三维电场传感器系统,属于电场测量技术领域,该系统包括激光源、保偏光纤耦合器、输入保偏光纤、起偏器、保偏尾纤、传感头、偏振分束器、输出单模光纤和光接收机。其中,激光源的输出端依次通过保偏光纤耦合器、输入保偏光纤、起偏器、保偏尾纤与传感头的输入端相连,传感头的输出端依次通过保偏尾纤、偏振分束器、输出单模光纤与光接收机的输入端相连。传感头为在与铌酸锂板的表面通过
钛金属扩散形成三条平行贯穿的光波导;在第一光波导的表面两侧敷设垂直的偶极子天线和电极,在第三光波导的表面敷设屏蔽电极。本发明适用于检测三维电场,具有工艺简单,空间分辨率高的优点,可以实现抵近测量。
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