本发明涉及光电陀螺仪领域,特别是涉及光纤陀螺Y波导集成调制器
芯片及集成方法。与现有技术相比,本发明光纤陀螺Y波导集成调制器芯片及集成方法,主要包括用于集成光耦合和Y波导调制的铌酸锂基底,所述铌酸锂基底表面具有第一锥槽、第二锥槽、第三锥槽、第四锥槽、第五锥槽,所述第一锥槽、第二锥槽连接至第三锥槽,所述第三锥槽分别连接第四锥槽、第五锥槽,所述第四锥槽、第五锥槽两侧分别设有电极片,所述铌酸锂基底表面设有一层SiO2薄膜,采用平面光波导技术完成,与各零件之间直接耦合,减小体积的同时提高可靠性,提高系统集成度。
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