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多电极高纯锗探测器

905   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:19:19
本公开提供了一种多电极高纯锗探测器，包括：平面型高纯锗晶体，其具有本征层裸露表面；锂扩散电极层，其通过在平面型高纯锗晶体的一端面及与该端面相连的部分侧面扩散锂离子形成，用于实现平面型高纯锗晶体与晶体机械固定件之间的稳定连接；非晶阻挡层，其位于平面型高纯锗晶体的另一端面上；保护环，位于非晶阻挡层上；多个独立电极，分别间隔设置且位于保护环内。本公开提供的多电极高纯锗探测器，通过使用非晶镀层和锂扩散层两种工艺，在保证低漏电流、高能量分辨的同时，也简化电极制作，提高了成品率，减小死区范围，降低了装配维护难度，提高了探测器的可靠性。
声明：
“多电极高纯锗探测器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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