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锂负极锂片表面高效镀膜装置

821   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 20:56:29
本实用新型一种锂负极锂片表面高效镀膜装置，包括溅射室内腔水平设置有镀膜隔板，两组镀膜隔板上下两端侧壁均匀开设有间隔腔孔，溅射室外端侧壁固定有电机安装板，电机安装板顶部安装有伺服电机，伺服电机输出端套接有两组主动连杆，两组主动连杆外壁分别套接有主动转轮和从动转轮，两组主动连杆转动贯穿溅射室侧壁并套接有转动螺杆，转动螺杆外壁螺接套设有溅射挡管，溅射挡管和镀膜隔板滑动插接，溅射室内腔两端侧壁安装有电动伸缩杆，两侧电动伸缩杆相对伸缩端设置有夹持紧固机构，本实用新型装置转动螺杆外壁螺接套设有溅射挡管，从而在镀膜隔板内腔水平移动，对间隔腔孔进行实时封堵调整。
声明：
“锂负极锂片表面高效镀膜装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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