一种铜锌锡硫薄膜
太阳能电池的全非真空工艺制备方法,属于光电材料新能源技术领域,本发明成本低廉并且适合太阳能电池的规模化大批量生产,其步骤包括:a、提供衬底层;b、背电极层制备:制备一层钼或银薄膜;c、吸收层制备:制备铜锌锡金属前躯体,再通过硫化热处理得到铜锌锡硫薄膜;d、缓冲层制备:制备硫化镉或硫化锌薄膜;e、窗口层制备:制备本征氧化锌窗口层薄膜;f、顶电极层制备:制备掺铝氧化锌顶电极层薄膜;g、栅电极制备:采用再流焊层压复合工艺制备栅电极。本发明具有工艺成本低、适合大规模生产的优点,因而具有非常好的推广利用价值。
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