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气相沉积方法

647   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:46:48
本发明公开了一种气相沉积方法，包括以下步骤：对参与沉积反应的原料进行加热，直至成为气相化学物质；将所述气相化学物质引进放置好待加工产品的沉积室内进行沉积反应；旋转所述沉积室内的所述待加工产品。从上述的技术方案可以看出，本发明实施例提供的气相沉积方法，在对沉积室内的待加工产品进行气相沉积时，通过令待加工产品在沉积室内进行转动，从而对沉积室内的气相进行一定程度的搅拌，令产品在沉积室内边转动边进行气相沉积，因此，有利于最终成品的沉积均匀性，保证产品质量的一致性。从而，采用上述气相沉积方法能够得到均匀材质的气相沉积成品，有效解决了目前大型碳-碳复合材料的化学沉积生产制造困难的难题。
声明：
“气相沉积方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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