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多电子枪蒸发镀膜系统

多电子枪蒸发镀膜系统

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规格/型号:DE600CL
品牌:德仪天力
应用领域:材料制备
产地:北京 - 北京
厂家/供应商:北京德仪天力科技发展有限公司
咨询电话::010-67832716/17(请说明信息源自“中冶有色网”)
更新时间:2025-04-02
级别:待认证

多电子枪蒸发镀膜系统说明介绍

多电子枪蒸发镀膜系统

DE600CL 多电子枪蒸发镀膜系统配置三(四或六)个电子束蒸发源,可在基片共蒸发金属、半导体或介质材料。

特点

可选等离子体基片清洗

可选基片氧化

典型应用

用于薄膜沉积研发

LIFT-OFF工艺的理想平台

可蒸发金属,半导体或介质材料

可蒸发磁性材料

可多源共蒸发

主要配置

蒸发腔体:不锈钢腔体

真空泵:蒸发室配备分子泵或冷凝泵和无油机械泵

真空阀门:高真空阀门

真空测量:宽量程真空计

蒸发源:三(四或六)个电子束蒸发源

样品台

自转基片台

可选可倾角和自转基片台

(可选加热至600℃)

(可选冷却至-150℃)

膜厚检测:晶振速率膜厚监控

预真空样品室:单基片或多基片装载能力

主要技术指标

极限真空度:3E-8Torr

基片尺寸:可选:2英寸、4英寸、6英寸、8英寸、12英寸

膜厚均匀性:优于+/-3%

蒸发速率分辨率: 0.01 A/s

膜厚分辨率: 0.1A
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北京德仪天力科技发展有限公司
企业认证:
  
所属领域:
材料制备
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