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分子层沉积制备负载型ZnO纳米颗粒的方法

900   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:32:04
一种分子层沉积制备负载型ZnO纳米颗粒的方法是将载体与乙醇混合分散成均匀悬浮液，涂覆在玻璃片表面，向MLD反应腔体中先通入异氰酸酯脉冲，再通入锌前驱体使之在载体依次表面发生单分子层反应，得到的表面沉积了含锌有机无机复合膜的基底材料在空气、氧气、氢气或惰性气氛中于250-900℃下处理1-2h，除去含锌有机-无机复合膜中的有机部分，即可得到基底材料表面沉积氧化锌纳米颗粒的复合材料。本发明具有制备尺度可控、分散均一的优点。
声明：
“分子层沉积制备负载型ZnO纳米颗粒的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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