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轻型大口径连续薄膜变形镜及其制造方法

856   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:24:45
一种轻型大口径连续薄膜变形镜及其制造方法，变形镜包括镜面层，镜面层上侧镀有反射镀膜层，镜面层下方粘接有活性层，活性层上下两侧分别覆盖有上电极层和下电极层，反射镀膜层、镜面层、覆盖有电极层的活性层构成变形镜本体，变形镜本体通过夹持组件固定，上电极层和下电极层通过电极引线与外电源连接；制造方法是将镜面层刻出扇形阵列凹槽；再将上电极层溅射在镜面层下侧，将压电复合材料铺在上电极层的下侧；然后将下电极层溅射在活性层下侧，将下电极层刻成图案化电极；最后将反射镀膜层溅射在镜面层上侧，然后将电极引线连接在上电极层和下电极层上；本发明减轻变形镜的质量、降低制造成本、改善初始面形、提高工作精度和像差补偿能力。
声明：
“轻型大口径连续薄膜变形镜及其制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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