紫外光固化材料
复合材料,用于光刻技术,也可用于纳米压印技术的紫外光固化。由低粘度、多官能度的齐聚物,光引发剂,稀释剂构成;低粘度、多官能度的齐聚物是在室温下呈现低粘度的液体,在室温下齐聚物的粘度在1厘泊/秒~10000厘泊/秒,所述液体齐聚物包含有两个或两个以上的可固化交联的官能团,可固化的官能团碳碳不饱和双键或环氧基团;齐聚物占齐聚物与稀释剂总重量百分比的5-80%;所述稀释剂是非反应性的溶剂或反应性单体;稀释剂占齐聚物与稀释剂总重量百分比的95-20%;光引发剂的用量为齐聚物量重量百分比的1~10%。本发明是基于在基片上通过旋转涂膜的方法,形成一层均匀的可紫外光固化液体薄膜。
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