合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 材料制备及加工技术

> 复合材料技术

> 用于UVC LED的蓝宝石基氮化铝复合材料的制备方法

用于UVC LED的蓝宝石基氮化铝复合材料的制备方法

841   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 16:35:02
本发明公开了一种用于UVC LED的蓝宝石基氮化铝复合材料的制备方法，包括如下步骤：(1)衬底预处理；(2)靶材预处理；(3)在射频电源的作用下，设备腔体中的氩气和氮气发生辉光放电，形成等离子体，Ar+离子轰击铝靶材，溅射出铝原子，铝原子与等离子体中的氮原子发生反应，在衬底上形成AlN缓冲层；(4)N2、Ar气氛下，采用磁控溅射沉积，在衬底上形成AlN薄膜；其中，磁控溅射沉积AlN薄膜时N2与Ar体积之比为1:1‑1.5。本发明提供了一种蓝宝石基氮化铝薄膜复合新材料的制备方法，极大地改善了氮化铝薄膜的质量，同时也拓宽了蓝宝石基氮化铝的应用条件，特别是在UVCLED方面的应用。
声明：
“用于UVC LED的蓝宝石基氮化铝复合材料的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
复合材料
上一个：锂离子电池负极复合材料的制备方法
下一个：用于制造再生型塑料复合材料的方法

与 “用于UVC LED的蓝宝石基氮化铝复合材料的制备方法” 相关技术

▪ 钨板材及其制备方法
▪ 渗碳剂、超粗碳化钨粉的制备方法
▪ 铝灰固化装置
▪ 铝电解废碳素用于烟化炉的方法
▪ 铝电解废碳素用于炼铅还原炉的方法
▪ 从电解铝固废中高效分离提锂的系统及方法
▪ 铅冶炼尾气处理设备及方法
▪ 用于金属冶炼的高效多功能机械搅拌装置
▪ 矿用掘进钻车
▪ 矿用移动式螺杆空压机

相关复合材料设备推荐

高品质混凝土搅拌机
行星式搅拌机满足物料搅拌高标准
涡电流分选机
涡电流分选设备
耐火材料搅拌机在行业中的市场占有率和好评率节节攀升
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议 中冶有色技术平台 有色金属技术网 中冶有色技术网
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪钨板材及其制备方法
▪渗碳剂、超粗碳化钨粉的制备方法
▪铝灰固化装置
▪铝电解废碳素用于烟化炉的方法
▪铝电解废碳素用于炼铅还原炉的方法
▪从电解铝固废中高效分离提锂的系统及方法
▪铅冶炼尾气处理设备及方法
▪用于金属冶炼的高效多功能机械搅拌装置
▪矿用掘进钻车
▪矿用移动式螺杆空压机

报名参会
更多+

第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
2025年03月25日 ~ 27日
中国新能源材料与器件第七届学术会议
中国新能源材料与器件第七届学术会议
2025年03月28日 ~ 30日
2025非金属矿物加工利用科技创新大会
2025非金属矿物加工利用科技创新大会
2025年03月28日 ~ 30日
2025中国结构材料大会暨第十一届全国有色金属结构材料制备/加工及应用技术交流会
2025中国结构材料大会暨第十一届全国有色金属结构材料制备/加工及应用技术交流会
2025年03月28日 ~ 30日
2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2025年04月27日 ~ 29日

报告下载

1 锂离子电池正极材料磷酸锰铁锂的
下载:224
2 磷酸(锰)铁锂材料的发展及动力电
下载:123
3 磷酸铁锂材料与电池体系的发展方
下载:117
4 磷酸铁锂的产业化与回收前景分析
下载:114
5 废旧动力电池磷酸铁锂材料再资源
下载:113
6 西藏盐湖锂资源和开发利用
下载:99
7 高倍率磷酸铁锂电池的研究与进展
下载:91
8 高能量密度磷酸铁锂电池的技术路
下载:88
9 磷酸铁锂材料性能改善研究
下载:79
10 回收磷酸铁锂性能的修复及其电池
下载:70
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

1智能耳穴调节装置
2《高强韧微纳米金属陶瓷材料关键技术开发与应用》——邓莹
3铝箔化成反应过程中的数据管理方法
4制备碳/碳复合材料的湿法针刺工艺
5改性生物炭及其制备方法和应用
6粉末冶金材料及其制备技术现状与新动向
7金刚石-碳化硅复合材料、制备方法以及电子设备
8钴酸铜催化电极材料及其在硝酸根还原制氨中的应用
9石英纤维/炭纤维增强炭基复合材料坩埚及其制备方法
10水性环氧树脂分散体及其制备方法
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记