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制备复合材料的可组装靶材、其制造、修复和改装方法

855   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 16:29:02
本发明揭示了一种用于制备复合材料的可组装靶材,其特征在于具有第一材料基底,基底上方具有多个凹槽,凹槽中填充有至少一种非第一材料。制造上述靶材的步骤如下:在第一材料基底靶材上形成槽结构,填充至少一种非第一材料的粉末或者熔液,经烧结、冷却和平坦化得到。在靶材部分消耗后,还可通过对靶材的消耗部分的修复实现靶材的重复充分利用,提高利用率。本发明可方便地制备复合材料薄膜,并且降低薄膜制备的成本,提升靶材的利用率。
声明：
“制备复合材料的可组装靶材、其制造、修复和改装方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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