江苏苏青水处理工程集团有限公司
宣传

位置:北方有色 > 有色产品 >

> 加工设备

> PECVD带尾气处理装置

PECVD带尾气处理装置

PECVD带尾气处理装置

浏览量 488
规格/型号:KJ-T1200-PECVD
品牌:鸿炉机械
应用领域:材料制备
产地:河南 - 郑州
厂家/供应商:河南鸿炉机械设备有限公司
咨询电话::17737149370(请说明信息源自“北方有色网”)
更新时间:2025-07-30
级别:待认证

PECVD带尾气处理装置说明介绍

PECVD带尾气处理装置

设备介绍

等离子体增强化学气相沉积(PECVD)是一种利用辉光放电(等离子体)反应生成含有气态物质的薄膜的薄膜生长技术。该系统由高功率射频电源、真空系统、管式炉组成,配备喷淋塔、活性炭箱,满足尾气处理的需要。该设备是为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应,反应气体在辉光放电等离子体中能受激分解、离解和离化,从而大大提高了反应物的活性,这些具有反应活性的中性物质很容易被吸附到较次温度的基本表面上,发生非平衡的化学反应沉积生成薄膜。我公司根据实验要求设计了此设备,设备设计满足各类薄膜研究的需求。

产品优势

成品质量好

PECVD具有基本温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少、不易龟裂等优点

带尾气处理装置

配备喷淋塔、活性炭箱,离心吹扫机等尾气处理装置,满足尾气处理的需要

可通保护气氛
法兰上带有进出气旋转接头,可以通入氮气、氩气等惰性保护气体,可在气氛环境下使用

安全防护功能

安全防护,具有超温保护功能,当温度超过允许设定值后,自动报警保护功能,操作安全可靠

沉积效果好

等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜

智能多段PID可编程

温控系统采用PID智能化程序控温,自整定功能并可编制多段升降温程序

技术参数

产品名称 PECVD

产品型号 KJ-T1200-PECVD

炉膛结构 分体式,上部可打开,方便拿取炉管

炉管尺寸 直径Φ100mm,长1500mm

(其他尺寸可根据客户需求定制)

加热区长度 300mm(其他尺寸可根据客户需求定制)

炉管材质 石英炉管

工作温度 ≤1100℃

最高温度 1200℃

加热元件 含钼电阻丝

控温精度 ±1℃

加热速率 建议10℃/min,可根据实验工艺进行调节

温度测试元件 N型热电偶

控温系统 采用智能化多段PID可编程控制

温度控制系统采用人工智能调节技术,具有 PID 调节、自整定功能并可编制多段升降温程序;

1、采用PID 方式调节控温,可设置多段升降温程序

2、控温精度±1ºC

3、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断

4、仪表具有温度自整定的功能

密封方式 真空法兰的密封方式,密封效果好

冷却方式 空气冷却

真空系统 扩散泵系统:

真空度:10 -3 Torr~10 -4 Torr。

等离子电源系统 功率范围 0-500W(连续可调)

工作频率 13.56MHZ+0.005%

功率稳定度±1%

最大反射功率 200W

质量流量计

(液晶触摸屏) 两台精密质量流量计:

MFC 精度为:±1.5% FS

氮气用 MFC 1 :气体流量范围为 0~500sccm

氩气用 MFC 2 :气体流量范围为 0~500sccm

废气处理装备 2套喷淋塔

2套活性炭箱

1台离心吹扫

注意事项 炉管内气压不可高于0.02MPa

· 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,使用时会更加精确安全

· 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态

· 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

· 石英管的长时间使用温度<1100℃

不得通入氯化物、硫化物等易腐蚀性气体,易造成法兰等不锈钢件的损坏

对于样品加热的实验

不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。

若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数

若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)
点赞
收藏
分享
         
咨询底价咨询底价
上一个: 大型高温台车炉 下一个: 高温箱式炉

与“PECVD带尾气处理装置”相关的最新需求

有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
萤石小知识 | 萤石产地在哪?萤石矿的伴生矿有哪些? 中国十大金矿排名!紫金山金铜矿居榜首 军工材料中应用最广泛的金属结构材料——铝合金 锂离子电池小百科 | 电池标识及电池性能与测试 《钴产业发展报告(2025)》重磅发布--助你穿透行业迷雾,把握战略机遇 未来科技:太阳能面板与电池搭载无人机,随时随地享受阳光充能! 小知识 | 铝矾土和铝矿石、铝土矿的区别 电动汽车超充时代到来!宁德时代发布神行PLUS电池 新技术 | 3D打印与传统加工工艺材料、晶格结构的性能差异 坐在铜矿上的国家​:“铜矿之国”赞比亚到底有多“壕”? 衡阳市市委书记秦国文到株冶有色调研 2.06亿元“抢滩”固态电池:华域汽车收购上汽清陶49%股权背后的三重逻辑 西工大王锦程团队:难熔高熵合金激光增材制造取得新突破! 600万吨氧化铝、240万吨电解铝!东方希望大手笔布局拉开帷幕 冶金百科 | 铜冶金-湿法炼铜小知识(四) 生态环境部印发《固体废物分类与代码目录》,废旧锂电池正式纳入固废管理 矿山安全 | 露天矿山开采的五大防护措施 普鲁士蓝的有趣特性:不只是颜料,还可以用来回收金属,做电池及杀死肿瘤细胞? 磷酸铁锂电池组电芯压差变大的原因及解决方法 天一萃取离心萃取机荣获“创新星级品牌”奖 2025年锂电行业变革:十大关键技术引领行业洗牌 展商推荐 | 威格科技(苏州)股份有限公司邀您出席第三届全国钒钛资源与储能科技大会 班坎金矿凸显潜力,或有望成为几内亚最大金矿 冶金百科 | 有色冶金企业单位产品能源消耗——铝冶金企业单位产品能源消耗 六大选矿工艺,搞定锂辉石选矿 四川生态修复带来大变化,废弃矿山变绿洲 2025年新疆光伏电价创新低:每度电仅需0.1648元 冶金百科 | 铝冶金——拜耳法生产氧化铝 耐普矿机董事长郑昊:选矿设备制造宜向大型化、高端化方向发展 2.86亿!复合材料龙头获得C轮融资
河南鸿炉机械设备有限公司
企业认证:
营业执照待认证    手机号待认证
所属领域:
材料制备
企业性质:
-
经营范围:
-
联系电话:
17737149370
详细地址:
-

报名参会

召开地址 贵州 - 贵阳
召开日期 2026年08月06日 ~ 08日
召开地址 内蒙 - 呼和浩特
召开日期 2026年08月12日 ~ 14日
召开地址 河南 - 郑州
召开日期 2026年08月15日 ~ 17日
召开地址 河南 - 洛阳
召开日期 2026年08月21日 ~ 23日
硒产业发展报告2026
推广

推荐产品
更多+

厂家:青岛垚鑫智能科技有限公司
厂家:青岛垚鑫智能科技有限公司
厂家:青岛垚鑫智能科技有限公司
厂家:青岛垚鑫智能科技有限公司
厂家:青岛垚鑫智能科技有限公司
山东省章丘鼓风机股份有限公司
宣传

推荐企业
更多+

最新更新产品

旋转缩分机
2026-07-31
密封式棒磨机
2026-07-31
2L台式旋转缩分机
2026-07-31
破碎缩分一体机
2026-07-31
筒型外滤式过滤机
2026-07-31
高效深锥浓缩机
2026-07-31
锌粉置换选金
2026-07-31
精密挤压棒
2026-07-31

慧博士报告
更多+

安徽霍桐仪器有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
店铺认领信息登记
0.332510s