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基于石墨烯/二氧化锡/氧化锌复合材料的电阻型气体传感器、制备方法及其应用

883   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 15:53:01
一种基于石墨烯/二氧化锡/氧化锌复合材料的电阻型气体传感器、制备方法及其应用,属于气体传感器技术领域。依次由单晶硅衬底、二氧化硅层、钛黏附层、叉指铂电极、在二氧化硅层和叉指铂电极表面涂覆的气体敏感薄膜组成;钛黏附层与叉指铂电极的结构相同,气体敏感薄膜为石墨烯/二氧化锡/氧化锌三元复合材料;该三元复合材料由石墨烯、二氧化锡和氧化锌混合而成,为三维多孔结构。气体敏感薄膜接触待测气体前后,其电阻会发生变化,通过测量叉指铂电极间电阻的变化,可以获得传感器的灵敏度。该传感器在室温下具有很高的响应灵敏度、快速的响应恢复速率和良好的响应可逆性,解决了二氧化锡和氧化锌气体传感器需要在高温下才能工作的问题。
声明:
“基于石墨烯/二氧化锡/氧化锌复合材料的电阻型气体传感器、制备方法及其应用” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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