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大尺寸圆截面陶瓷基复合材料构件熔融渗硅工装及方法

995   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:42:02
本发明涉及一种大尺寸圆截面陶瓷基复合材料构件熔融渗硅工装及方法，解决对于大尺寸圆截面陶瓷基复合材料零构件LSI工艺制备过程存在的过程控制难度大、构件密度均匀差、易变形及底部液硅易堆积、粘接等问题，工装包括由石墨材料制成的多个坩埚单元，各坩埚单元依次同轴从下至上叠放形成坩埚，相邻两个坩埚单元之间铺设环形石墨纸层。方法包括加工大尺寸圆截面陶瓷基复合材料构件半成品及制备大尺寸圆截面陶瓷基复合材料构件的步骤。本发明通过设计分层结构形式的坩埚，采用该结构坩埚，可有效将高温熔融的原料按区域分割，防止因重力作用导致高温时熔融原料下沉，出现下部致密化程度高，上部致密化程度低的现象，有效地提高构件密度的均匀性。
声明：
“大尺寸圆截面陶瓷基复合材料构件熔融渗硅工装及方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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