本发明涉及一种靶材用钼铌合金板的制备方法。其特点是,包括如下步骤:首先将钼粉和铌粉按照5~15:85~95的质量比混合得到混合粉,将该混合粉压成合金坯,然后进行烧结,烧结过程中通入氢气进行保护,当烧结温度到1000℃保温2~3小时,再升温到1700℃保温2~3小时,然后升温到1950℃保温8~10小时,最终烧结成合金坯状,再经过1200~1400℃高温煅造后在1500~1600℃下轧制成板材即可。本发明提供了一种成本低廉,质量等各方面能满足要求的靶材用钼铌合金板的新方法,产品主要应用于平板显示器等领域。
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