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高真空多功能真空镀膜机

高真空多功能真空镀膜机

浏览量 549
规格/型号:暂无
品牌:科诚
应用领域:冶金
产地:辽宁 - 沈阳
厂家/供应商:沈阳科诚真空技术有限公司
咨询电话::13998121527(请说明信息源自“北方有色网”)
更新时间:2025-03-28
级别:待认证

高真空多功能真空镀膜机说明介绍

高真空多功能真空镀膜机

高真空多功能真空镀膜机是一种集成了多种镀膜技术(如热蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、离子镀等)的先进设备,能够在高真空环境下实现不同类型的薄膜沉积,满足科研与工业中对复杂薄膜的需求。

设备的主要配置:

1、真空室二个,一个有8个蒸发源(有机材料),另一个有4个蒸发源(金属材料)。

2、四个源的真空室(金属材料)附加一个手套箱,这种附加方法不但可使蒸发好的基片在此取出、而且还可使蒸发材料在保护气体的环境下放入蒸发源。

3、样品在两个真空室之间进行传递,传递方式为轨道及轨道车电控传递。

4、每次可对四块样品进行蒸镀,并可在线掩膜两次(20mm×30mm)。

5、对样品采用典钨灯加热,自动控温。(最高200℃、精度±1℃)

6、金属蒸发源采用钨绞丝。

7、由于蒸发源比较多,又不能给每个蒸发源都配上电源,所以给每个真空室的蒸发源都加装电源转换装置一套,电控转换操作方便。

8、样品台二套(可电控升降、旋转及定位交接和掩膜换位)。

9、有机室上盖开启系统一套(电动控制)。

10、PLC微机控制系统一套。

11、样品由有机蒸发室传递到金属蒸发室、至手套箱采用轨道式自动交接(由触摸屏控制)。

12、恢复工作真空时间短,从大气到工作真空(7×10-4Pa)时间30~40分钟(暴露大气前充干燥氮气)。

13、超高真空密封主要采用如下技术:玻璃金属焊接技术、陶瓷金属焊接技术、刀口无氧金属密封技术等,整机主要采用金属密封技术,前开门用氟胶圈,真空管路用不锈钢金属波纹管路(不用橡胶管路),采用超高真空阀门。

14. 运动部件的密封,采用磁力耦合及金属波纹管密封技术。

15. 真空规用金属规,密封口用刀口金属密封结构。

设备工作技术指标:

1、设备极限真空度6×10-5Pa,工作真空度5×10-4Pa。

2、设备整体漏率:关机停泵12小时后,真空度≤10pa

3、 样品台加热温度室温至200度,可调,控温温度±1度

4、 冷却水循环量150L/h。

5、 电源:交流三相五线制380V,总功率20KVA。

6、 环境温度10℃~30℃。
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