本发明公开了一种基于计算传热学模拟的碳化硅真空烧结炉优化方法,包括以下步骤:根据真空烧结炉体参数建立真空烧结炉在加热过程中热辐射和热传导模型;进行计算传热学模拟,得到了真空烧结炉在整个加热过程中的温升曲线;通过计算对比不同加热速率、不同石墨加热管直径、不同石墨加热管与有效加热区间距下的工件温升曲线、顶点工件与中心工件温差、同一工件表面与心部温差,对原炉型进行优化。本发明通过研究不同加热速率、不同石墨加热管直径、不同石墨加热管与有效加热区的间距对真空烧结炉加热效率及炉温均匀性的影响,为真空烧结炉的性能优化提供参考,符合碳化硅真空烧结炉工艺生产要求,且提高了加热系统的加热效率和炉温均匀性。
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