权利要求
1.波长大范围可调节的VCSEL激光器阵列，其特征在于，包括若干个VCSEL激光器，各VCSEL激光器圆周上设有一个环形的加热器，各加热器的分别连接到独立可控电流，通过控制输入到各加热器的电流大小来调整各VCSEL激光器的温度，各VCSEL激光器的出射激光波长依次连续。2.根据权利要求1所述的波长大范围可调节的VCSEL激光器阵列，其特征在于，各VCSEL激光器具有不同的固有热阻，并根据固有热阻大小依次排列。 3.根据权利要求1所述的波长大范围可调节的VCSEL激光器阵列，其特征在于，各VCSEL激光器的驱动电源相互独立，通过调节驱动电流大小来调整出射激光波长。 4.根据权利要求1所述的波长大范围可调节的VCSEL激光器阵列，其特征在于，所述加热器为采用半导体材料制备。
说明书
波长大范围可调节的VCSEL激光器阵列
技术领域
本发明涉及一种波长大范围可调节的VCSEL激光器阵列。
背景技术
垂直腔面发射激光器(Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser, VCSEL)具有体积小、相应频带宽、温度漂移小、阈值电流低、单纵模出射、发散角小、调制速率高、出射激光为圆形光斑易与光纤耦合、封装简单易于二维集成、工作寿命长等优越性能，在光纤通信、原子钟、3D传感、汽车雷达等领域的应用前景被十分看好。垂直腔面发射激光器的激光垂直于芯片表面从顶面或底面射出，出射方向由激光波长决定。
VCSEL的结构中有上、下两个分布式布拉格反射镜（DBR），分成反射区和出射区，反射区具有99.9%以上的反射率，出射区具有99%以上的反射率，这种差异决定最终波长的出射位置。上、下分布式布拉格反射镜将有源层包裹在中间，构成的激光谐振腔使得在与腔体相垂直的方向上让往复运动的光产生谐振放大，最终达到阈值出射激光。DBR由多种折射率差别很大且晶格常数匹配的材料层叠而得，常用的是将GaAs和AlAs交替层叠。在这种DBR中，最好使得能量带隙大于谐振波长，以避免光被吸收。
伴随着VCSEL在密集波分复用(Dense wavelength division multiplexing,DWDM)光纤通信系统的大规模应用，业界对波长可调谐VCSEL的需求
声明：
“波长大范围可调节的VCSEL激光器阵列” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
1941
编辑：中冶有色网
来源：深圳市中科光芯半导体科技有限公司
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2025年05月16日 ~ 18日 
