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高温合金部件及其制备方法与应用

481 编辑：中冶有色网来源：广东省科学院新材料研究所

2025-10-10 14:16:04

权利要求 1.一种高温合金部件的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：采用电弧离子镀的方式于高温合金部件基体的表面沉积金属氮化物层，所述高温合金部件基体与所述金属氮化物层之间无金属过渡层; 所述金属氮化物层的制备过程中，每沉积300nm~500nm进行2min~5min的阳极层离子源高能气体离子轰击，直至获得预设厚度的所述金属氮化物层。 2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述金属氮化物层的金属元素仅为Cr，或，所述金属氮化物层的金属同时包括Al、Si、Ta中的至少一种元素以及Cr。 3.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，电弧离子镀的条件包括：电弧靶电流为90A~120A，偏压为-50V~-150V，氮气流量为600mL/min~900mL/min，沉积时间为10min~30min。 4.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，阳极层离子源高能气体离子轰击的条件包括：离子源功率为2kW~4kW，偏压为-100V~-300V，氩气流量为50mL/min~200mL/min。 5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，沉积所述金属氮化物层之前，还包括：对所述高温合金部件基体进行湿喷砂、超声清洗、抽真空并加热。 6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，湿喷砂采用10µm~15µm的白刚玉，喷砂压力为0.1MPa~0.2MPa，喷砂时间为2min~5min; 和/或，抽真空至1×10-2Pa~5×10-3Pa; 和/或，加热温度为350℃~450℃。 7.根据权利要求5或6所述的制备方法，其特征在于，在对所述高温合金部件基体进行湿喷砂、超声清洗、抽真空并加热后，还包括对所述高温合金部件基体先进行阳极层离子源高能气体离子轰击，再采用电弧离子镀的方式沉积所述金属氮化物层。 8.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，对所述高温合金部件基体进行阳极层离子源高能气体离子轰击的条件包括：离子源功率为2kW~4kW，偏压为-100V~-300V，氩气流量为50mL/min~200mL/min，轰击时间为60min~120min。 9.一种高温合金部件，其特征在于，经权利要求1~8任

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