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圆棒形高纯铜靶材的制备方法

671   编辑：中冶有色网   来源：烟台万隆真空冶金股份有限公司  
2025-09-26 15:35:15
权利要求 1.一种圆棒形高纯铜靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： (1)真空熔铸、上引连铸 将电解铜放入真空熔炼炉中，升温熔清后，继续升温开始精炼，抽真空后，破真空，将铜水倒入上引连铸炉的装置内，通过上引连铸生产铜杆; (2)预热 对模具以及铜杆的一段坯料进行预热; (3)第一道次连续挤压 将预热后的铜杆进行第一道次连续挤压，转速设定为3.5-4r/min，挤压比为3-4，挤压成Φ20mm-Φ25mm的铜杆; (4)第二道次连续挤压 将经第一道次连续挤压的铜杆进行第二道次连续挤压，转速设定为1.5-2.5r/min，挤压比为4-5，挤压成Φ20mm-Φ25mm的铜杆; (5)第三道次连续挤压 将经第二道次连续挤压的铜杆进行第三道次连续挤压，转速设定为2.5-3r/min，挤压比为1-2，挤压成Φ50mm-Φ60mm的成品铜杆。 2.根据权利要求1所述圆棒形高纯铜靶材的制备方法，其特征在于，步骤(1)中，抽真空的时间为10-30min。 3.根据权利要求1所述圆棒形高纯铜靶材的制备方法，其特征在于，步骤(2)中，模具预热温度为450-500℃;一段坯料的预热长度为500-1000mm，一段坯料预热温度为600-700℃。 4.根据权利要求1所述圆棒形高纯铜靶材的制备方法，其特征在于，步骤(3)、(4)、(5)中，模腔温度为600-650℃。 5.根据权利要求1所述圆棒形高纯铜靶材的制备方法，其特征在于，步骤(1)中，包括以下具体步骤：将电解铜放入真空熔炼炉中，升温到1100-1200℃直至炉料全部熔清，继续升温到1300-1400℃开始精炼，抽真空10-30min后，充入氮气破真空，在铜水上覆盖木炭，将铜水倒入上引连铸炉的坩埚内，通过上引连铸生产铜杆。 说明书 技术领域 [0001]本发明属于冶金工艺技术领域，尤其涉及一种圆棒形高纯铜靶材的制备方法。 背景技术 [0002]随着电子信息和高新技术产业的发展，集成电路作为信息产业发展的基础和核心，一直受到国家的高度重视。其中铜靶材因具
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