江苏苏青水处理工程集团有限公司
宣传

位置：中冶有色 > 有色产品 >

有色金属设备

矿山设备

冶金设备

材料制备及加工设备

环境保护设备

分析检测设备

材料

> 材料制备及加工设备

> 加工设备

> 中试-量产 磁控溅射系统

中试-量产 磁控溅射系统

中试-量产 磁控溅射系统

335
规格/型号：DE700PVD
品牌：德仪天力
应用领域：材料制备
产地：北京 - 北京
厂家/供应商：北京德仪天力科技发展有限公司
咨询电话:：010-67832716/17（请说明信息源自“中冶有色网”）
更新时间：2025-04-01
级别：待认证

中试-量产 磁控溅射系统说明介绍


特点

· 用于中试和量产

· 多个溅射源

· 可溅射金属、半导体、介质材料及磁性材料

· 可溅射单层膜、多层膜或共溅合金薄膜或反应溅射

· PID下游或上游压力控制

· 可选离子源辅助沉积

· 可选RF等离子体或离子源基片清洗

· 可选基片氧化

· 整套系统通过工控机和PLC实现全自动控制

主要配置

溅射腔体：不锈钢腔体

真空泵：分子泵(或冷凝泵)和干泵

真空阀：高真空插板阀

真空测量：宽量程真空计

溅射源：多个磁控溅射阴极，可配DC、Pulse DC、RF、HIPIMS电源

基片台：基片可旋转，可选加热或冷却

压力控制：多路气体配流量计和压力计，PID溅射压力控制

可选薄膜监控：晶振膜厚/速率监控

可选预真空室：基片自动传递

镀膜室主要技术指标

极限真空压力：<9E-8Torr

基片尺寸：可选：3英寸、4英寸、6英寸、8英寸、12英寸

可选基片加热至：600℃

片内膜厚均匀性：≤+/-3%

片间膜厚重复性：≤+/-2%

装片能力

分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
磁控溅射系统
上一个： 多腔体磁控溅射系统 下一个： 纳米膜层磁控溅射系统

与“中试-量产 磁控溅射系统”相关的产品

多腔体磁控溅射系统
多腔体磁控溅射系统
纳米膜层磁控溅射系统
纳米膜层磁控溅射系统
超导量子磁控溅射系统
超导量子磁控溅射系统
纳米膜层磁控溅射系统
纳米膜层磁控溅射系统
离子束溅射镀膜系统
离子束溅射镀膜系统

全国热门有色金属设备推荐

江苏矿山设备 江苏选矿设备 北京矿山设备 北京选矿设备 江苏冶金设备 南京冶金设备 江苏火法冶金设备 合肥湿法冶金设备 江苏环境保护设备 南京环境保护设备 江苏废水处理设备 江苏大气治理设备 南京大气治理设备 江苏分析检测设备 北京分析检测设备
北京德仪天力科技发展有限公司
企业认证：
  
所属领域：
材料制备
企业性质：
-
经营范围：
-
联系电话：
010-67832716/17
详细地址：
-

报名参会

第六届中国浮选大会
第六届中国浮选大会
江西 - 南昌
2025年06月06日 ~ 08日
2025材料电子显微表征技术湘江研讨会
2025材料电子显微表征技术湘江研讨会
湖南 - 长沙
2025年06月06日 ~ 08日
2025磷资源高值利用与新能源协同创新发展论坛
2025磷资源高值利用与新能源协同创新发展论坛
云南 - 昆明
2025年06月13日 ~ 15日
第二届有色金属工业环境保护与减污降碳技术大会
第二届有色金属工业环境保护与减污降碳技术大会
云南 - 昆明
2025年06月13日 ~ 15日
2025第三届全国金属增材制造及注射成形技术与应用交流会
2025第三届全国金属增材制造及注射成形技术与应用交流会
山西 - 太原
2025年06月13日 ~ 15日
2025第二届全国稀有金属特种材料技术交流会
推广

推荐产品
更多+

液晶式拉压计
液晶式拉压计
标签：
液晶式拉压计 拉压计 检测设备
厂家：高铁检测仪器(东莞)有限公司
指针式拉压计
指针式拉压计
标签：
指针式拉压计 拉压计
厂家：高铁检测仪器(东莞)有限公司
拉头拉片扭转试验机
拉头拉片扭转试验机
标签：
拉头拉片扭转试验机 扭转试验机 检测设备
厂家：高铁检测仪器(东莞)有限公司
金属旋转疲劳试验机
金属旋转疲劳试验机
标签：
金属旋转疲劳试验机 疲劳试验机
厂家：高铁检测仪器(东莞)有限公司
合成材料面层冲击吸收性能测试仪
合成材料面层冲击吸收性能测试仪
标签：
合成材料面层冲击吸收性能测试仪 冲击吸收性能测试仪
厂家：高铁检测仪器(东莞)有限公司
山东省章丘鼓风机股份有限公司
宣传

推荐企业
更多+

1杭州嘉悦智能设备有限公司
2赛默飞世尔科技
3河南川萍环保科技有限公司
4濮阳豫沪不锈钢制造有限公司
5南通联源机电科技股份有限公司
6山东君凯铜业有限公司
7河北硕晟环保科技有限公司
8辽宁新万材料科技有限公司
9北京世纪森朗实验仪器有限公司
10鹤壁市金飞龙电子科技有限公司

最新更新产品

▪ 液晶式拉压计
2025-06-03
▪ 指针式拉压计
2025-06-03
▪ 拉头拉片扭转试验机
2025-06-03
▪ 金属旋转疲劳试验机
2025-06-03
▪ 合成材料面层冲击吸收性能测试仪
2025-06-03
▪ 镀锌层打击试验机
2025-06-03
▪ 冲击试验机
2025-06-03
▪ 金属线材往复弯折试验机
2025-06-03
▪ 电动式硬度计基座
2025-06-03
▪ 半自动铜排折弯机
2025-06-03
安徽霍桐仪器有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
店铺认领信息登记