江苏苏青水处理工程集团有限公司
宣传

位置：中冶有色 > 有色产品 >

有色金属设备

矿山设备

冶金设备

材料制备及加工设备

环境保护设备

分析检测设备

材料

> 材料制备及加工设备

> 加工设备

> 中试-量产 磁控溅射系统

中试-量产 磁控溅射系统

中试-量产 磁控溅射系统

377
规格/型号：DE700PVD
品牌：德仪天力
应用领域：材料制备
产地：北京 - 北京
厂家/供应商：北京德仪天力科技发展有限公司
咨询电话:：010-67832716/17（请说明信息源自“中冶有色网”）
更新时间：2025-04-01
级别：待认证

中试-量产 磁控溅射系统说明介绍


特点

· 用于中试和量产

· 多个溅射源

· 可溅射金属、半导体、介质材料及磁性材料

· 可溅射单层膜、多层膜或共溅合金薄膜或反应溅射

· PID下游或上游压力控制

· 可选离子源辅助沉积

· 可选RF等离子体或离子源基片清洗

· 可选基片氧化

· 整套系统通过工控机和PLC实现全自动控制

主要配置

溅射腔体：不锈钢腔体

真空泵：分子泵(或冷凝泵)和干泵

真空阀：高真空插板阀

真空测量：宽量程真空计

溅射源：多个磁控溅射阴极，可配DC、Pulse DC、RF、HIPIMS电源

基片台：基片可旋转，可选加热或冷却

压力控制：多路气体配流量计和压力计，PID溅射压力控制

可选薄膜监控：晶振膜厚/速率监控

可选预真空室：基片自动传递

镀膜室主要技术指标

极限真空压力：<9E-8Torr

基片尺寸：可选：3英寸、4英寸、6英寸、8英寸、12英寸

可选基片加热至：600℃

片内膜厚均匀性：≤+/-3%

片间膜厚重复性：≤+/-2%

装片能力

分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
磁控溅射系统
上一个： 多腔体磁控溅射系统 下一个： 纳米膜层磁控溅射系统

与“中试-量产 磁控溅射系统”相关的产品

超高真空磁控溅射系统
超高真空磁控溅射系统
多腔体磁控溅射系统
多腔体磁控溅射系统
纳米膜层磁控溅射系统
纳米膜层磁控溅射系统
超导量子磁控溅射系统
超导量子磁控溅射系统
纳米膜层磁控溅射系统
纳米膜层磁控溅射系统
离子束溅射镀膜系统
离子束溅射镀膜系统

全国热门有色金属设备推荐

江苏矿山设备 江苏选矿设备 北京矿山设备 北京选矿设备 江苏冶金设备 南京冶金设备 江苏火法冶金设备 合肥湿法冶金设备 江苏环境保护设备 南京环境保护设备 江苏废水处理设备 江苏大气治理设备 南京大气治理设备 江苏分析检测设备 北京分析检测设备 有色金属会议
北京德仪天力科技发展有限公司
企业认证：
  
所属领域：
材料制备
企业性质：
-
经营范围：
-
联系电话：
010-67832716/17
详细地址：
-

报名参会

第二届全国盐湖资源综合利用与绿色发展创新论坛
第二届全国盐湖资源综合利用与绿色发展创新论坛
青海 - 西宁
2025年07月09日 ~ 11日
第二届关键金属选冶与高纯制程技术交流会
第二届关键金属选冶与高纯制程技术交流会
河南 - 郑州
2025年07月11日 ~ 13日
2025全国有色金属材料加工与成形技术交流大会
2025全国有色金属材料加工与成形技术交流大会
河南 - 洛阳
2025年07月16日 ~ 18日
2025全国煤化工科技创新与产业绿色发展论坛
2025全国煤化工科技创新与产业绿色发展论坛
山西 - 太原
2025年07月16日 ~ 18日
2025全国稀有&贵金属矿冶装备论坛
2025全国稀有&贵金属矿冶装备论坛
河南 - 洛阳
2025年07月17日 ~ 19日
碲产业报告2025
推广

推荐产品
更多+

水质在线分析检测仪
水质在线分析检测仪
标签：
水质在线分析检测仪 环境检测设备
厂家：大连鑫东兴仪器仪表有限公司
荧光光谱仪
荧光光谱仪
标签：
荧光光谱仪 环境检测设备
厂家：江苏天瑞仪器股份有限公司
铜捕收剂BK916
铜捕收剂BK916
标签：
厂家：武汉卡诺斯科技有限公司
LF-AT型结合铜矿浮选剂
LF-AT型结合铜矿浮选剂
标签：
厂家：武汉卡诺斯科技有限公司
RYS-164铜捕收剂
RYS-164铜捕收剂
标签：
厂家：武汉卡诺斯科技有限公司
山东省章丘鼓风机股份有限公司
宣传

推荐企业
更多+

1杭州嘉悦智能设备有限公司
2赛默飞世尔科技
3河南川萍环保科技有限公司
4濮阳豫沪不锈钢制造有限公司
5南通联源机电科技股份有限公司
6艾格斯威(上海)检测设备有限公司
7武汉卡诺斯科技有限公司
8武汉卡诺斯科技有限公司
9武汉卡诺斯科技有限公司
10河南威邦环保科技有限公司

最新更新产品

▪ 水质在线分析检测仪
2025-06-23
▪ 荧光光谱仪
2025-06-23
▪ 铜捕收剂BK916
2025-06-23
▪ LF-AT型结合铜矿浮选剂
2025-06-23
▪ RYS-164铜捕收剂
2025-06-23
▪ LC-YF氧化铜捕收剂
2025-06-23
▪ LF-A型氧化铜矿浮选剂
2025-06-23
▪ 铝丝扭力检测设备
2025-06-23
▪ 金属线材扭转性能试验机
2025-06-23
▪ 0.1-10mm线材扭转试验机
2025-06-23
安徽霍桐仪器有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
店铺认领信息登记