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纳米膜层磁控溅射系统

纳米膜层磁控溅射系统

291
规格/型号:DE500DL
品牌:德仪天力
应用领域:材料制备
产地:北京 - 北京
厂家/供应商:北京德仪天力科技发展有限公司
咨询电话::010-67832716/17(请说明信息源自“中冶有色网”)
更新时间:2025-04-01
级别:待认证

纳米膜层磁控溅射系统说明介绍

纳米膜层磁控溅射系统

DE500DL纳米膜层磁控溅射系统配备多个磁控溅射源,可沉积金属、半导体、介质材料. 可用于溅射多层薄膜、共溅合金薄膜、反应溅射、可选溅射楔形膜等。是材料和薄膜沉积研发和中试的理想平台。

特点

溅射距离可调

PID下游和上游压力控制

良好的薄膜均匀性和重复性

安全互锁保护

可选离子束清洗或辅助沉积

可选RF等离子体清洗

可选溅射楔形膜

PLC和工控全自动控制

主要配置

镀膜腔室:不锈钢腔体

真空:分子泵(或冷凝泵)和干泵

真空阀门:高真空插板阀门

真空测量:宽量程真空计

溅射源:多达6个溅射源、直流、脉冲直流、射频电源、HIPPIMS电源

样品台:样品台旋转加热或冷却

气体和压力控制:多路气体配流量计、PID控制压力控制

预真空样品室:单基片或多基片装载能力、全自动送样

主要技术指标

镀膜腔室极限真空度:优于3E-8Torr(或9E-9Torr)

基片尺寸:可选:2英寸、4英寸、6英寸、8英寸、12英寸

样品加热器最高温度:600℃ (可选900℃)

膜厚均匀性:优于+/-3%
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北京德仪天力科技发展有限公司
企业认证:
  
所属领域:
材料制备
企业性质:
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联系电话:
010-67832716/17
详细地址:
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