权利要求
1.一种铝铬合金靶材的短流程制备方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：
步骤一、准备单质铝、铬及辅助合金元素的粉末原料;所述辅助合金元素为硼、钨或硅，且粉末原料中铝、铬、辅助合金元素的原子百分比分别为50%~70%、20%~40%以及不超过10%;
步骤二、将步骤一中准备的粉末原料在氩气保护下混合均匀，得到混合粉末;
步骤三、在氢氩混合气氛下，将步骤二得到的混合粉末进行还原和烘干处理;
步骤四、将步骤三中还原和烘干处理后的混合粉末均匀铺于石墨模具中，然后置于SPS烧结炉中抽真空，采用梯度加热、加压的方式进行SPS烧结，得到烧结坯料;
步骤五、将烧结坯料进行包覆热轧及退火处理，获得铝铬合金靶材坯料;
步骤六、将步骤五中获得的铝铬合金靶材坯料进行机加工、校直、真空退火及清洗处理，得到铝铬合金靶材。
2.根据权利要求1所述的一种铝铬合金靶材的短流程制备方法，其特征在于，步骤一中所述铝粉末的粒径不大于180目，且质量纯度为99.99%以上，所述铬粉末、辅助合金元素粉末的粒径均不大于325目，且质量纯度均大于99%。
3.根据权利要求1所述的一种铝铬合金靶材的短流程制备方法，其特征在于，步骤二中所述混合均匀的工艺为采用V型混粉机充氩气保护混合2h~5h。
4.根据权利要求1所述的一种铝铬合金靶材的短流程制备方法，其特征在于，步骤三中所述烘干处理的温度为200℃~300℃，时间为2h~4h。
5.根据权利要求1所述的一种铝铬合金靶材的短流程制备方法，其特征在于，步骤四中所述采用梯度加热、加压的方式进行SPS烧结的工艺为：第一梯度：无压加热至100℃~200℃保温5min~10min;第二梯度：加压至10MPa~15MPa，加压的同时继续升温至400℃~450℃保温2min~5min;第三梯度：再次加压至40MPa~50MPa，随后升温至温度500℃~580℃，保温5min~30min后完成烧结;第四梯度：关闭加热电源，将压力调至第三梯度加压后压力的1/2~2/3，待冷却到室温，再卸压至零，得到烧结坯料。
6.根据权利要求1所述的一种铝铬合金靶材的短流程制备方法，其特征在于，步骤五中所述包覆热轧的工艺为
声明：
“铝铬合金靶材的短流程制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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编辑：中冶有色网
来源：西安稀有金属材料研究院有限公司
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2025年05月16日 ~ 18日 
