权利要求
1.一种真空感应炉电源配置方法,其特征在于,包括如下步骤:
在真空感应炉的坩埚外侧壁上,沿竖直方向排列套设至少两个独立电加热机构;
将排列设置在所述坩埚外侧壁上的每个独立电加热机构的电源接头引出至所述真空感应炉的真空空间外部,并在所述真空感应炉的外部,对应于每个所述独立电加热机构均设置相应的控制电源柜;
将每个所述独立电加热机构的电源接头与所述相应的控制电源柜的出线端连接,完成对所述真空感应炉的电源配置。
2.根据权利要求1所述的真空感应炉电源配置方法,其特征在于,所述在真空感应炉的坩埚外侧壁上,沿竖直方向排列套设至少两个独立电加热机构,包括:
根据所述坩埚的加热位置面积和预设真空电压限值,设计所述独立电加热机构在所述坩埚外侧壁上的布设方案;其中,所述布设方案包括所述独立电加热机构的数量和每个独立电加热机构在所述坩埚外侧壁上的位置;
根据所述布设方案,由上至下依次将所述独立电加热机构排列设置在所述坩埚外侧壁上。
3.根据权利要求1所述的真空感应炉电源配置方法,其特征在于,所述独立电加热机构包括一个单体IGBT或至少两个并联的单体IGBT或至少两个串联的单体IGBT。
4.根据权利要求1所述的真空感应炉电源配置方法,其特征在于,所述独立电加热机构包括一个可控硅真空电源感应线圈或至少两个并联的可控硅真空电源感应线圈或至少两个串联的可控硅真空电源感应线圈。
5.根据权利要求4所述的真空感应炉电源配置方法,其特征在于,在所述可控硅真空电源感应线圈的外部设置有磁轭。
6.根据权利要求4所述的真空感应炉电源配置方法,其特征在于,
当所述独立电加热机构包括至少两个并联的可控硅真空电源感应线圈或至少两个串联的可控硅真空电源感应线圈时,每个所述可控硅真空电源感应线圈到相应的控制电源柜的输出阻抗相同。
7.根据权利要求1所述的真空感应炉电源配置方法,其特征在于,所述将排列设置在所述坩埚外侧壁上的每个独立电加热机构的电源接头引出至所述真空感应炉的真空空间外部,包括:
将所述每个独立电加热机构的接头作为电源接头由所述真空感应炉的真空密封法兰板引出至所述真空感应炉的真空空间外部。
声明:
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我是此专利(论文)的发明人(作者)