权利要求
1.一种大面积钙钛矿太阳能电池的连续制备生产线，其特征在于，包括依次连接的上料平台(1)，进料腔体(2)，第一缓冲腔体(3)，真空蒸镀沉积工艺腔体(4)，第二缓冲腔体(5)，真空传输腔体(6)，第三缓冲腔体(7)，原子层沉积工艺腔体(8)，出料腔体(9)和卸料平台(10);
所述真空蒸镀沉积工艺腔体(4)中设置有蒸发源，用于制备电子传输层;所述原子层沉积腔体(8)用于制备电子传输层或界面修饰层;
所述进料腔体(2)和出料腔体(9)用于抽放大气，设置传输速度;所述进料腔体(2)和出料腔体(9)的两侧设置有闸阀，各腔体上设置抽真空装置使得腔体内部形成真空腔室，所述真空腔室的两侧设置传动输送装置带动真空腔室内的输送载盘从进料腔体(2)依次向前输送至出料腔体(9)，每个腔体上至少设置一路冷却管道，腔体与腔体间设有闸板隔离装置。
2.如权利要求1所述的大面积钙钛矿太阳能电池的连续制备生产线，其特征在于，所述输送载盘上装配有两块玻璃基片。
3.如权利要求1所述的大面积钙钛矿太阳能电池的连续制备生产线，其特征在于，所述玻璃基片的长度为1.0m-1.2m，宽度为0.6m-0.8m。
4.一种大面积钙钛矿太阳能电池的连续制备方法，其特征在于，采用如权利要求1所述的大面积钙钛矿太阳能电池的连续制备生产线，所述制备方法包括如下步骤：
S1)将已完成空穴传输层以及钙钛矿活性层制备的大面积玻璃基板通过上料平台(1)进入进料腔体(2);
S2)开启C60源或PCBM源加热，等待源升温以及蒸发速率温度，进入第一缓冲腔体(3)设定传送速率使玻璃基板进入真空蒸镀沉积工艺腔体(4)进行蒸镀;
S3)通过真空传输腔体(6)进入第三缓冲腔体(7)等待到达沉积温度后，进入原子层沉积工艺腔体(8);
S4)先行喷二甲基锡或四甲基钛前提气体，形成单分子层，将多余前体气体抽出，以使得只有单分子层的前提气体留在膜层表面;引入氧化剂氧气，与吸附在表面的单分子层发生反应，生成SnOx;
S5)重复步骤S4，多次循环使得SnOX厚度达到预设厚度;
S6)进入出料腔体(9)后，充气平衡大气后传输至卸料平台(10)。
5.如权利要求4
声明：
“大面积钙钛矿太阳能电池的连续制备生产线及方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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编辑：中冶有色网
来源：浙江晟霖益嘉科技有限公司
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2025年05月09日 ~ 11日 
