一种基于光致变色材料的超分辨加工技术 转载于汉斯学术交流平台，如有侵权，请联系我们一种基于光致变色材料的超分辨加工技术 内容总结：近些年来，纳米级设备的应用被广泛的报道，例如：负性反射率的人造超材料 [1] ，光子结构控制光流 [2] (即光子晶体，波导)，以及大容量的光学数据存储设备 [3] 。微小的纳米结构可以通过电子束光刻来实现。利用光学显微镜在光敏材料上进行加工相较而言比较便宜而且方便。但是，由于光的衍射特性，能够被加工的最小尺寸，通常限制在所用光的波长的一半。几种有效的方法被提了出来以提高光学光刻加工的分辨率。Min Gu等利用径向偏振光束采用双光子吸收机制制作了一种高容量的磁盘(高达3 TB) [4] 。Scott等人利用光敏材料的光引发以及光抑制特性制作了一种次衍射结构(100 nm) [5] 。类似于STED显微镜，在这种方法中，写入光束被紧紧地聚焦在光敏材料上，随后引入第二光束来抑制抗蚀剂的聚合，这道光束在聚焦区域具有环状分布的。由于受到抑制，位于环状中心的光敏材料得以聚合。Min Gu等利用高感光性的树脂的快速固化特性进一步改进了这一方法 [6] 。内容：1. 背景介绍近些年来，纳米级设备的应用被广泛的报道，例如：负性反射率的人造超材料 [1] ，光子结构控制光流 [2] (即光子晶体，波导)，以及大容量的光学数据存储设备 [3] 微小的纳米结构可以通过电子束光刻来实现然而，其实验过程相当复杂，而且实验设备非常昂贵利用光学显微镜在光敏材料上进行加工相较而言比较便宜而且方便但是，由于光的衍射特性，能够被加工的最小尺寸，通常限制在所用光的波长的一半几种有效的方法被提了出来以提高光学光刻加工的分辨率Min Gu等利用径向偏振光束采用双光子吸收机制制作了一种高容量的磁盘(高达3 TB) [4] Scott等人利用光敏材料的光引发以及光抑制特性制作了一种次衍射结构(100 nm) [5] 类似于STED显微镜，在这种方法中，写入光束被紧紧地聚焦在光敏材料上，随后引入第二光束来抑制抗蚀剂的聚合，这道光束在聚焦区域具有环状分布的由于受到抑制，位于环状中心的光敏材料得以聚合Min Gu等利用高感光性的树脂的快速固化特性进一步改进了这一方法 [6] 此外，吸光度调制光学光刻(AMOL) [7] [8] [9] 也是一个有效的光学制造方法这种方法是基于光致变色材料
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编辑：中冶有色网
来源：李青格乐*, 吕 肃
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2025年06月13日 ~ 15日 
