1.本发明属于自动加料技术领域，尤其是涉及一种六氟化钨反应的钨自动加料装置。
背景技术：
2.六氟化钨(wf6)为无色气体或浅黄色液体，固体为易潮解的白色结晶，在潮湿空气中冒烟；在半导体材料的制备中，高纯度的wf6通常用于化学气相沉积(cvd)和原子层沉积(ald)的单元操作，以生产钨接触插头和硅化钨电极，特别是用它制成的wsi2可用作大规模集成电路(lsi)中的配线材料。
3.目前，工业上生产六氟化钨的方法主要有以下两种：
4.(1)以氟气作为氟化剂与钨反应制备wf6(反应式为w+3f2→
wf6)，先通过电解制备粗氟气，粗氟气经吸附、深冷或精馏工艺脱除氟气中夹带的大量hf、氮气、二氧化碳以及金属粒子等杂质，净化后的氟气与钨金属反应合成六氟化钨。
5.(2)以nf3作为氟化剂与钨反应制备六氟化钨气体(反应式为w+2nf3→
wf6+n2)，该方法是将原料气nf3与高纯n2按相同体积比通入预热器中加热后进入反应器与金属钨反应生成wf6，合成后的wf6气体采用低温收集器液化收集，收集后的wf6升温，进入精馏装置精馏后得到高纯wf6。
6.常用的六氟化钨反应器主要为固定床，固定床分为立式和卧式结构两种，在六氟化钨反应器内部添加钨金属，控制反应器在200℃～450℃，然后通入氟气或三氟化氮气体与钨反应生成六氟化钨气体。然而，现有的固定床反应器制备六氟化钨时，钨金属加料方式为间歇性，频繁的拆检固定床反应器以及补加钨金属，易引入水分和空气等杂质，得到的六氟化钨的纯度不高、且不能实现六氟化钨的连续生产。
技术实现要素：
7.针对现有技术中存在的缺陷和不足，本发明提出一种六氟化钨反应的钨自动加料装置，利用反应过程中钨粉自动且定量的输送装置，实现氟化反应过程的自动化，解决了因间接性频繁拆检固定床反应器导致六氟化钨的纯度低和效率低的问题。
8.本发明提出一种六氟化钨反应的钨自动加料装置所采用的技术方案如下：包括反应器主体、装料料仓、气体进料管、泄压管、振动电机、底座；其中，反应器主体的一端设有可拆卸法兰、另一端设有封头；反应器主体的内壁上侧设有气体折流板；反应器主体的外壁上覆设有加热器；气体进料管贯穿设于靠近可拆卸法兰的反应器主体上部，泄压管通过三通管件与安全阀连接并贯穿设于靠近封头的反应器主体上部；装料料仓贯穿设于气体进料管与可拆卸法兰之间的反应器主体上部，装
声明：
“六氟化钨反应的钨自动加料装置的制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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编辑：中冶有色网
来源：洛阳森蓝化工材料科技有限公司
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2025年05月23日 ~ 25日 
