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安徽有色金属加工技术理论与应用

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测试锂电池隔膜穿刺强度的穿刺装置及方法

一种测试锂电池隔膜穿刺强度的穿刺装置,包括检测支架,所述检测支架包括上基座、导杆以及下基座;所述下基座的表面垂直设有导杆,所述导杆的顶端上基座,所述导杆的外壁滑动安装有滑座,所述滑座的底面中心处垂直设有顶针,所述顶针的底端外壁可拆卸安装有上夹具,所述上夹具的底部安装有下夹具,所述下夹具的顶端设有外径相同的隔膜,所述隔膜嵌入于上夹具内,所述下夹具的内部开设有环形阵列分布的导气孔;本发明隔膜放置在下夹具上时受力更均匀,与夹具的贴合效果更好,提高了测试的准确性和重现性。

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安徽 - 淮北 来源:中冶有色技术网 2023-03-18
锂离子电池用低表面能胶带

本发明公开了一种锂离子电池用低表面能胶带,胶带基带上设有软性涂层和丙烯酸酯复合层,软性涂层先在胶带基带上胶成型,丙烯酸酯复合层再涂胶在软性涂层上成型,软性涂层位于胶带基带和丙烯酸酯复合层之间。处理工艺,包括以下步骤:通过胶带基带放卷辊进行胶带基带放卷操作,胶带基带进入净化室净化处理;从净化室出来的胶带基带进入上胶室进行软性涂层的上胶操作,再通过中间加热处理室进行加热处理;加热处理后的胶带基带进入涂胶室进行丙烯酸酯复合层的涂胶操作,涂胶后的胶带进入尾部加热处理室内再次进行加热处理,从尾部加热处理室出来的胶带通过胶带收卷辊进行胶带收卷操作。洁净度高以及表面能相对较低,提升了胶带产品性能。

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安徽 - 芜湖 来源:中冶有色技术网 2023-03-18
降低软包锂电池绝缘不良的封装方法

本发明提出了一种降低软包锂电池绝缘不良的封装方法,包括以下步骤:S1、对铝塑膜进行冲坑形成电芯坑和气袋坑;S2、在铝塑膜热封区域内侧涂覆耐热涂层并对耐热涂层进行交联固化处理;S3、将焊接好的电芯装入电芯坑,并在耐热涂层外侧边缘进行顶封和侧封,形成顶封封印和侧封封印;S4、电芯烘烤、注液后进行一封,形成一封封印;S5、电芯化成、老化后进行抽气二封,形成二封封印;S6、电芯切边、折边。本发明通过在热封区域内侧边缘涂覆耐热涂层,在电芯热封时,可以有效防止热影响区铝塑膜PP层发生粘连,避免软包电芯在后续生产和使用时PP层发生破损,降低绝缘不良发生的比例。

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安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-18
用于锂电池注液口的封钢珠机构

本发明涉及一种用于锂电池注液口的封钢珠机构,包括直线模组,直线模组的滑台上安装有直线导轨和定位气缸;直线导轨上活动连接有固定架,定位气缸的活塞杆与固定架连接;固定架表面固定有推杆气缸,固定架底部固定有定位封口板,定位封口板的一端设有滑槽,定位封口板的另一端固定有移位气缸;滑槽的底部设有封口顶嘴,滑槽内安装有钢珠移位块,钢珠移位块的表面设有钢珠推杆通孔;本发明是集输送钢珠、获取钢珠、灵活定位封口和静止固定打孔位置的功能于一体的机构,整体机构紧凑,占用空间小,且操作灵活便利,能够精准定位封口位置,并能很好的避免打入钢珠时造成电池盖平面的变形,实现高效的将钢珠打入电池盖板中而不反弹。

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安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-18
用于锂电池负极的氧化铬及碳纳米管复合材料的制备方法

本发明公开了一种用于锂电池负极的氧化铬及碳纳米管复合材料的制备方法,所述负极材料为氧化铬及碳纳米管复合材料,其制备方法包括如下步骤1)碳纳米管加入无水乙醇中,加入少量分散剂,进行超声搅拌,形成悬浊液;2)将Cr(NO3)2溶于去离子水中,并加入所述悬浊液,同时加入一定量的氨水溶液,使PH值调整到10,超声搅拌30min‑1小时混合;之后进行过滤,无水乙醇和去离子水反复清洗,之后置于干燥箱中70‑80℃干燥箱12小时形成块体;然后放入管式炉中,在密闭的真空环境下550‑650℃下热处理5‑6小时,然后自然冷却;得到氧化铬及碳纳米管复合材料。制得的氧化铬及碳纳米管复合材料中,碳纳米管呈网状分布,氧化铬纳米颗粒在碳纳米管的管壁表面上分散。该材料具有高的能量密度和良好的循环稳定性。

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安徽 - 芜湖 来源:中冶有色技术网 2023-03-18
新型方形锂电池标准化模组封装壳体及PACK方法

本发明公开了一种新型方形锂电池标准化模组封装壳体及PACK方法,包括上盒、下盒、盒盖、电极基板,盒盖外侧前后端中央向内冲压形成安装槽并在盒盖内侧前后端形成安装凸台,安装槽外侧端设有条形卡槽,电极基板与安装凸台固定相连,电极基板一侧中央设有第一卡片,第一卡片垂直折弯形成第二卡片,第二卡片折弯形成第三卡片;电极基板安装在盒盖内部;上盒和下盒相互卡合;形成标准化电池组单元;多个标准化电池组单元依次拼接。本发明通过互嵌式的结构设计,且自动互嵌限位,便于高效快速拼装成大型电池组,免除所有焊接工艺,有效降低电池成组的成本,也便于拆卸维保;散热效果明显,同时减轻了重量,有利于提高电池模组的重量能量密度。

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安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-18
用于检测锂电池电解液渗漏的设备

本发明公开了一种用于检测锂电池电解液渗漏的设备,包括:支架、安装在支架上的托架和用于驱动托架翻转的动力机构,其中:托架上设有第一压板、第二压板和用于驱动第一压板和第二压板进行相向运动的驱动机构;托架上且位于第一压板与第二压板之间还设有若干个安装座,各安装座排列布置以形成至少一个安装座排,且每个安装座排中的各安装座之间通过连杆机构相互连接;连杆机构的两端分别与第一压板和第二压板连接并随着第一压板和第二压板的运动拉动各安装座相互靠近/远离。本发明可以将电解液渗漏的地方放大,方便人工检测电池漏液。且设备安全可靠、操作简单,检测效率高。

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安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-18
锂离子电池用羧甲基纤维素胶液不溶物含量测试方法

本发明公开了一种锂离子电池用羧甲基纤维素胶液不溶物含量测试方法,包括如下步骤:将羧甲基纤维素搅拌溶解于去离子水中,静置消泡得到透明胶液;在高透光性塑料薄板上划线形成方格,将透明胶液涂覆在该塑料薄板表面;将涂覆有透明胶液的塑料薄板置于透明玻璃上,采用一组灯柱进行照射,灯光通过透明玻璃照射在涂覆有透明胶液的塑料薄板上,测量每个方格中不溶物颗粒的数量。本发明与传统肉眼观察相比,具有量化标准,方法更严谨、说服力更强,对胶液质量好坏的判断提供了有力的数据支撑。

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安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-18
用于锂电池封口焊接的焊接机

本发明公开了一种用于锂电池封口焊接的焊接机,包括壳体,壳体的内部顶端中部设有固定板,固定板的底端设有固定筒一,固定筒一的底端设有齿轮一,齿轮一的顶端一侧边设有与齿轮一相适配的锥齿轮一,锥齿轮一远离固定筒一的一侧边设有转轴一,转轴一远离固定筒一的一侧边设有电机一,且电机一的转动轴与转轴一连接,电机一的底端设有支撑杆,且支撑杆为L型支撑杆,支撑杆远离电机一的一侧边位于齿轮一的下方,支撑杆远离电机一的一侧边设有支撑柱,且支撑柱的顶端贯穿齿轮一并与固定筒一的底端连接,固定筒一远离锥齿轮一的一侧顶部设有伸缩杆,伸缩杆远离固定筒一的一侧边设有固定筒二,固定筒二的底端设有齿轮二。

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安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-18
锂电池极耳密封封装机构及其工作方式

本发明公开一种锂电池极耳密封封装机构及其工作方式,该机构包括极耳压件、电池支撑座、极耳封装器、密封液管:所述极耳压件包括极耳压盘、压件连接柱,电池支撑座包括支撑台、台面连接柱,台面凹槽;所述极耳压盘上表面设置有压件连接柱,压件连接柱位于极耳压盘上表面中心,压件连接柱垂直于极耳压盘;所述支撑台下表面中心设置有台面连接柱,台面连接柱位于支撑台下表面中心,台面连接柱垂直于支撑台;所述极耳封装器包括第一连接杆,第一连接杆的一端、所述第二连接杆一端分别连接封装轮上表面、下表面,封装轮侧面设置有封装槽,封装槽底部设置有密封胶槽。本发明具有操作简单、密封性强、密封速度快的特点。

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安徽 - 淮南 来源:中冶有色技术网 2023-03-18
光催化材料及其制法和在废旧锂电池电解液处理中的应用

本发明提供了一种光催化材料及其制法和在废旧锂电池电解液处理中的应用。该光催化材料制备方法为:将石墨相氮化碳进行超声剥离处理得到层状石墨相氮化碳;将层状石墨相氮化碳加入到四氢呋喃中分散配制成分散液A;将配体和经过不同取代基取代的铁酞菁加入到四氢呋喃中溶解配成分散液B;将分散液B滴加到分散液A中,避光条件下加热恒温反应,然后离心冷冻干燥后得到轴向配合物;将轴向配合物分散到水中得到分散液C,通过浸轧热压方式将分散液C负载到低熔点皮芯聚酯纤维上,然后烘干冷却后得到该光催化材料。该光催化材料能够有效降低废旧电池中电解液的COD、BOD、SS及金属离子含量,负载量低、处理效果显著、循环使用性能良好。

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安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-18
碳纳米管的制备及其在锂离子电池中的应用

本发明提供了碳纳米管的制备方法,包括以下步骤:A)将金属醋酸盐的水溶液与含氮有机物混合,加热溶解,得到混合溶液;所述金属醋酸盐选自Ni(CH3COO)2或Co(CH3COO)2,所述含氮有机物选自二氰二胺、三聚氰胺或尿素;B)将所述混合溶液升温加热至溶剂挥发,得到起始原料固体粉末;C)在保护性气氛条件下,将所述起始原料固体粉末进行阶段性升温煅烧,得到碳纳米管。本发明使用廉价的化学原料为起始物,通过高温热解法,直接制备出氮掺杂的碳纳米管,成本可以降低。氮掺杂有效提升了碳管的电导率,降低了电池的内阻值,该碳纳米管材料在大倍率充放电条件下,显示出比传统锂电池负极碳材料更高的比容量和更好的循环性能。

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安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-18
锂电池合浆称量系统自动校准装置及校准方法

本发明涉及一种锂电池合浆称量系统自动校准装置及校准方法。包括由立柱及横梁形成的支架,所述的横梁上吊装有与支架形成软连接的储斗,所述的储斗沿其周向均布有水平设置的连接板,所述的连接板通过螺杆与横梁相连,所述的螺杆上设有拉力传感器,所述连接板的底面上固定有气缸,气缸的活塞杆端连接有挂钩,所述的气缸与电磁阀连接,电磁阀的接线端与电控箱连接,所述的电控箱外接有重量显示表头及按钮盒,所述的立柱上还固定有水平设置的底板,所述的底板上放置有可与挂钩相配合的砝码。由上述技术方案可知,本发明可准确得知称量系统的称量精度是否准确。整个自动校准装置结构简单、操作方便、成本低,降低了劳动强度,提高了工作效率。

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安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-18
锂电池箱体气密性测试防爆阀密封装置

本发明公开了一种锂电池箱体气密性测试防爆阀密封装置,包括箱体板、固设于箱体板上部的防爆阀和设置于防爆阀上方的密封装置,所述密封装置包括支撑座、固设于支撑座上部的固定板和位于固定板一侧上下移动的压板,本发明拆装快速方便,通过配合使用的压板、压紧装置和移动装置,实现对防爆阀的快速密封,密封效果好,提高了测试时的承压能力和测试效率,保证了测试的精确度;通过设置的弹性部件方便了拆卸,减轻了工人劳动强度,操作快捷,省时省力;结构简单,制造成本低,可多次重复使用,进一步降低了使用成本,有利于大量推广使用。

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安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-18
用于锂电池封口器的下压装置

本发明公开了一种用于锂电池封口器的下压装置,其特征在于,包括腔体,所述腔体顶部设置有气缸,所述气缸连接有施压杆,所述腔体内部设置有可容纳所述施压杆的限位筒,所述限位筒末端设置有限位板,所述限位板靠近限位筒的一面并排设置有若干个弹簧。工作中,弹簧可让电池与限位筒两个硬物之间的接触更加紧密,更有利于完成封口的作业。本发明的有益效果:本发明使封口作业更加有效,封口的密封性更好。

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安徽 - 铜陵 来源:中冶有色技术网 2023-03-18
磷酸铁锂动力电池SOC的估算方法

本发明提供一种磷酸铁锂动力电池SOC的估算方法,该方法根据不同放电倍率下电池电压与SOC的对应关系,拟合出SOC取不同基准值时电池电压与放电倍率的函数关系;然后将此函数关系写进BMS中,用递归循环算法,找出SOC基准点,进行SOC的估算。本发明只需根据不同放电倍率下电池电压与SOC的对应关系,拟合出不同SOC基准值下电池电压与放电倍率的函数关系,因此本发明简单易行;本发明利用电池电压来估算SOC时,兼顾了电池电压与放电倍率之间实时更新的函数关系,因此,本发明的SOC估算更加准确。

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安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-18
锂离子电池极片的干燥方法

本发明提出了一种锂离子电池极片的干燥方法,通过该方法对正极片和负极片进行干燥,可以充分干燥极片,从而获得性能良好的极片。该干燥方法包括如下步骤:A:将电池极片放入干燥箱内;B:利用抽真空设备使干燥箱内的气压降至预定低压,并保持在预定低压状态下第一预定时间,然后关闭抽真空设备;C:利用加热设备对干燥箱进行加热,使干燥箱的温度升至预定高温,并保持第二预定时间;D:向干燥箱内充入纯净干燥惰性气体,第三预定时间后利用抽真空设备使干燥箱内的气压降至预定低压,并保持在预定低压状态下第一预定时间,然后关闭抽真空设备;E:重复执行C~D步骤若干个循环后,关闭加热设备;待干燥箱的温度降至室温后取出极片。

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安徽 - 芜湖 来源:中冶有色技术网 2023-03-18
方型动力锂离子电池及其保护方法

本发明公开了一种方型动力锂离子电池及其保护方法,所述方法包括:1)在钢壳电池(1)的壳体上安装形变感应器(2);2)在钢壳电池(1)充满电后设定初始控制量;3)形变感应器(2)实时检测壳体的形变;4)当壳体发生的形变大于控制量时,形变感应器(2)发出报警信号给电池管理系统,电池管理系统切断电池的进一步使用,报警器发出报警声。本发明通过在壳体上安置形变感应器,可以减少电池或电池包发生过充和过温现象的机率,大大提高了电池或电池包的安全性,使形变感应器成为电池的二级保护,延长使用寿命,减少投入。

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安徽 - 芜湖 来源:中冶有色技术网 2023-03-18
锂离子电池正极浆料稳定性检测方法

本发明公开了一种锂离子电池正极浆料稳定性检测方法,包括如下步骤:S1、出料扫描:正极浆料合浆后立即用流变测试仪扫描,记录粘度与剪切速率的关系记为出料流变曲线,其中,扫描时剪切速率逐渐变大;S2、正扫1‑反扫1‑正扫2:将完成出料扫描的正极浆料静置,然后用流变测试仪扫描,其中,扫描程序为:先以扫描时剪切速率逐渐变大进行扫描记为正扫1,再以扫描时剪切速率逐渐变小进行扫描记为反扫1,最后以扫描时剪切速率逐渐变大进行扫描记为正扫2,并记录正扫2时粘度与剪切速率的关系记为正扫2流变曲线;S3、分析出料流变曲线与正扫2流变曲线的重合性。本发明操作简易快捷,能准确反映浆料体系的稳定性。

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安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-18
硅纳米线电极的制备方法及其在锂离子电池中的应用

本发明公开了一种硅纳米线电极的制备方法及其在锂离子电池中的应用,采用具有优良浸润性的高孔隙率导电基体作为衬底,将其放入金属盐溶液中搅拌一定时间,然后取出并快速干燥,随后在还原性气氛中进行热处理,使金属盐还原为纳米金属颗粒,最后通入硅源气体,原位催化生长硅纳米线,即制备出硅纳米线电极。本发明不仅简化了金属催化剂的负载流程,而且原位制备的硅纳米线电极具有优良的电化学性能;此外,本发明所用原材料价格低廉,制备工艺简单、易操作,适用于量化生产硅纳米线电极。

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安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-18
L型连接片双极柱锂电池盖板

本发明公开了一种L型连接片双极柱锂电池盖板,所述的正极铆钉依次穿过正负极止动架一、基板、正极绝缘板和压板一,与压板一铆接,所述的负极铆钉依次穿过正负极止动架二、基板、负极绝缘板和压板二,与压板二铆接,所述的正极连接片和负极连接片分别焊接在正极铆钉和负极铆钉的下面,正极连接片和负极连接片分别位于铝壳的底端,在基板的中心开有防爆孔,在防爆孔内焊接有防爆片,在防爆孔的上端贴有组合贴膜。本发明提高了电池单体电芯能量密度,在电池组组模的过程中节省了电池箱体占用的空间,相对传统焊防爆罩的工艺省去了焊接工艺,提高了品质,减少了制造工序,节约了生产成本。

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安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-18
锂电池用蓝膜的检测装置及其控制方法

本发明公开了一种锂电池用蓝膜的检测装置及其控制方法,该装置包括:拍照组件,对待检测的电池模组的待检测面进行拍照,得到检测图像,并将检测图像传输至控制器;检测图像中包含有待检测的电池模组的蓝膜参数;控制器,接收待检测的电池模组的检测图像,利用图像处理算法对待检测的电池模组的检测图像进行处理,得到检测图像中包含有待检测的电池模组的蓝膜参数,以确定待检测的电池模组的蓝膜参数是否符合设定的标准参数。该方案,通过设置电池模组的蓝膜检测设备,利用该蓝膜检测设备配合算法实现对电池模组的蓝膜是否损坏的自动检测,省时省力且检测结果精准。

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安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-18
锂电池方形电池模组整形压紧机构及方法

本发明公开锂电池方形电池模组整形压紧机构,包括第一压紧组件、第二压紧组件,锁紧组件、测距组件;所述第一压紧组件位于整形压紧工位的上方,第一压紧组件的底部具有多个能够升降的压辊,所述第二压紧组件位于整形压紧工位的两侧,第二压紧组件的端部为能够水平移动的压板;用于承载电池模组的模组堆叠托盘的两端具有挤压板,侧面具有锁紧轴;所述锁紧组件包括与锁紧头实现夹紧的限位套和锁紧的定位机构。本发明还公开进行整形的方法,实现电池模组进行顶部、两侧、两端的压紧。本发明的有益效果:保证顶部、两侧的平整度,以及长度方向的尺寸,能有效的保证在模组的压紧过程中,对模组各关键尺寸的控制。

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安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-18
锂电池电极片安全保护结构

本发明公开了一种锂电池电极片安全保护结构,包括电线、连接块及接收块,所述连接块一端两侧分别固接两个凸耳,两个所述凸耳分别固接两个弹性块。本发明采用卡勾的方式进行电极片与接收端子的连接,连接更加稳定,需要分离时只需按压挤压块即可时卡勾脱离钩槽,即可进行分离,同时电极片安装在活动仓内,活动仓在弹簧的弹力作用下与连接端子紧密接触,无需依靠电极片自身弹力来保证接触质量,避免了接触不良的现象。本发明在活动仓处设置了第一散热片,在接收块对应电极片位置开设通孔并设置第二散热片,保证了电极片连接处的散热效果,杜绝了电极片温度过高损坏端子连接处的情况,也避免了温度过高发生短路的现象。

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安徽 - 滁州 来源:中冶有色技术网 2023-03-18
新能源锂电池外壳制造成型加工工艺

本发明提供了一种新能源锂电池外壳制造成型加工工艺,由底框、定位单元、固定框、联动单元、贴合单元和卷边单元配合完成的作业,本发明可以解决在翻边时,针对对象通常为单个,效率难以提升,且一次折弯只能对薄片端部进行角度折弯,难以将外壳薄片的端部翻成卷边结构,未卷边的外壳薄片在后期成型后仍存在划伤手部的情况等问题。

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安徽 - 安庆 来源:中冶有色技术网 2023-03-18
锂电池用铝箔分切设备及其工作方法

本发明公开了一种锂电池用铝箔分切设备及其工作方法,包括托载台、电机一和若干个滑移机构,所述托载台上方两端均设置有安装板,其中一个安装板中部套接有电机一。本发明的有益效果是:推切座上的液压缸二通过液压柱二带动切刀向下活动,通过切刀将铝箔切段,被切落的铝箔落装入落盒中存放,该设备对铝箔分切工作的自动化程度高,且通过丝杠上安装的若干个滑移机构分别对铝箔进行分切处理,极大的提高了该设备对铝箔分切的效率;铝箔在移动至顶板靠近挂架的一端时,液压缸一通过液压柱一推动压板向下移动,通过压板贴压铝箔,通过两个隔板分别夹挡铝箔两侧,使铝箔的移动轨迹更精准,且极大的提高了切刀对铝箔切割的精度和质量。

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安徽 - 淮北 来源:中冶有色技术网 2023-03-18
基于维纳过程的锂离子电池单体使用寿命预测方法及介质

本发明的一种基于维纳过程的锂离子电池单体使用寿命预测方法及介质,包括通过计算机设备实现建立基于维纳过程的分析模型,用来预测电池组的循环使用次数;本发明所采用的维纳过程随机变量模型进行预测时,能够充分考虑到电池由于环境因素和功能差异等导致的误差,较为符合实际情况,实验结果表明,所提出的退化过程建模方法比较符合现实中的统计结果,具有一定的实践应用的价值。

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安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-18
锂离子电池合浆方法
锂离子电池合浆方法 1084     
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本发明公开了一种锂离子电池合浆方法,包括下列步骤:提供干混粉体,所述干混粉体包括极片主材、导电剂和粘结剂;将所述干混粉体通过载气吹入反应设备中,同时将溶剂喷淋至反应设备中,使所述溶剂与所述干混粉体充分接触后沉降,获得预混浆料;搅拌分散所述预混浆料后,稀释调粘,获得混合浆料。该合浆方法能够提高干混粉体和溶剂的接触面积,充分分散润湿干混粉体,从而获得性能优异的混合浆料,且具有耗能少、无尘化的优点。

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安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-18
利用PA无纺布制备锂离子电池隔膜的方法

本发明公开了一种利用PA无纺布制备锂离子电池隔膜的方法,涉及电池隔膜加工技术领域,包括以下步骤:(1)粘合剂的配制,(2)粘合层的形成,(3)隔膜的制备。本发明所制粘合剂能快速牢固附着于PA纤维上从而形成粘合层,避免常规隔膜还需另外设置粘合层才能形成隔膜与电极之间粘合的问题;并且该粘合剂属于水性粘合剂,避免使用有机溶剂作为稀释剂存在的干燥时污染环境的问题;同时粘合层的形成还能提高所制隔膜的综合使用性能。

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安徽 - 六安 来源:中冶有色技术网 2023-03-18
非晶硅薄膜锂电池
非晶硅薄膜锂电池 675     
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本发明公开了一种非晶硅薄膜锂电池,包括机身以及设置在所述机身内的第一滑动腔,所述第一滑动腔内可左右滑动的设置有第一滑动块,所述第一滑动块前后对称设置有左右贯穿的第一通孔,所述第一通孔内滑动设置左右延伸的第一光杆,所述第一光杆左右两端固定安装在所述第一滑动腔左右端壁内,所述第一滑动块前后端壁内对称设置有开口向外的第一空腔,所述第一空腔下底壁内固定安装有齿条;本发明结构简单,操作方便,通过采用机械结构与光学结构结合,自动进行非晶硅薄膜的刻蚀,不仅自动化程度高,而且不受非晶硅薄膜负面限制,能够完成大批量大幅面高质量非晶硅薄膜刻蚀,提高了刻蚀效率与质量,提高了装置实用性能。

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安徽 - 黄山 来源:中冶有色技术网 2023-03-18
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