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995 主要技术要求
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1：控制方式 |
7寸人机界面 手动模式 自动模式 晶控模式（需配膜厚仪） |
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2：镀膜方式 |
真空电阻加热式热蒸发镀膜 |
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3：镀膜功能 |
0-999秒可变换功率 及挡板复位和样品旋转等程序控制 |
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4：最大功率 |
≤1200W（电压≤12V 电流≤150A) |
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5: 极限真空 |
机械泵 ≤1Pa（5分 钟） 分子泵≤5*10^-3Pa（30分钟） |
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6：挡板类型 |
电控 |
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7：真空腔室 |
高鹏硅玻璃罩+铝合金腔体样品台Ф160mm×170mm |
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8：样品台 |
快速插拔式 可旋转φ75 （最大可安装φ70样品） |
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9：样品台转速 |
0-8转/分钟 |
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10：样品靶材距离 |
40-70mm（可调节） |
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11:蒸发温度 |
≤1800℃ |
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12：蒸发坩埚类型 |
钨舟 陶瓷坩埚 石英坩埚 钨丝蓝 带坩埚钨丝蓝 碳绳等 |
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13：真空测量 |
电阻真空计（测量范围10E5Pa 1E-1Pa ） |
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14：预留真空腔室接口 |
KF40/KF25抽气口 KF16真空计接口Q15放气口 可扩展膜厚测量口 |
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15：产品重量 |
约16KG |
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可选配扩展（选配） |
①机械真空泵抽速8mm3/h（单设备≤1Pa(5分钟） |
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②分子泵机组（单设备可抽真空30分钟≤5*10^-3Pa） |
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③膜厚仪:(厚度范围0-10000A 厚度显示分辨率1A 速率范围0-999.9A 速率显示分辨率0.1A 晶振频率6MHz） |
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主要配置要求 |
小型蒸镀仪 KT-Z1650CVD 主机1台 电源线 合格证 说明书 保修卡各一个 |
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贵州 - 贵阳
2026年08月06日 ~ 08日
