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1500℃高温CVD 系统

1500℃高温CVD 系统

浏览量 571
规格/型号:KJ-T1600 CVD
品牌:鸿炉机械
应用领域:材料制备
产地:河南 - 郑州
厂家/供应商:河南鸿炉机械设备有限公司
咨询电话::17737149370(请说明信息源自“北方有色网”)
更新时间:2025-07-24
级别:待认证

1500℃高温CVD 系统说明介绍

1500℃高温CVD 系统

设备介绍

KJ-CVD 是一种分体式管式炉,配备 60mm 直径的石英管、真空泵和四通道质量流量计气体流动系统。 可混合1-6种气体进行CVD。款CVD生长系统适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。

产品优势

双层壳体上开启结构

双层壳体上开启结构,取放炉管方便,装有风冷系统,炉子外壳温度保持安全范围内

控温精度可达±1℃

控温系统采用PID方式调节,可以设置30段升降温程序,控温精度可以达到±1℃

刚玉材质炉管

炉管采用刚玉材质,工作温度可达1500度,具有高温稳定性和耐腐蚀性,加热均匀性好

技术参数

产品名称 1600 CVD 系统

产品型号 KJ-T1600 CVD

管式炉 显示 LED

炉体 分体式和上部可以打开

最高温度 1600℃

工作温度 ≤1500℃

升温速率 建议 0~10℃/min

温区 300mm(其他尺寸可根据客户需求定制)

加热元件 硅钼棒

热电偶 B 型

温度控制精度 ±1℃

炉管 80 x 1000mm (外径 x 长度)

(其他尺寸可根据客户需求定制)

材质:高纯氧化

温度控制 通过可控硅功率控制进行PID自动控制

加热曲线 30 步可编程

真空法兰 带阀门的不锈钢真空法兰

真空泵系统 旋片真空泵+扩散真空泵 真空泵组:极限真空10-6 Torr。

质量流量计 四个精密质量流量计:

底壳安装1个气体混合罐,底壳左侧安装6个不锈钢针阀,手动控制6种气体混合。
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