江苏苏青水处理工程集团有限公司
宣传

位置:北方有色 > 有色产品 >

> 加工设备

> 等离子体增强原子层沉积系统

等离子体增强原子层沉积系统

等离子体增强原子层沉积系统

浏览量 829
规格/型号:PEALD
品牌:科睿设备
应用领域:加工设备
产地:上海 - 上海
厂家/供应商:科睿设备有限公司
咨询电话::852-2710-8200(请说明信息源自“北方有色网”)
更新时间:2025-06-15
级别:待认证

等离子体增强原子层沉积系统说明介绍

等离子体增强原子层沉积系统 (PEALD)

等离子体增强原子层沉积系统


(PEALD)

等离子体增强原子层沉积(Plasma Enhance Atomic Layer Deposition,PEALD),也称为原子层外延(Atomic Layer Epitaxy,ALE),或原子层化学气相沉积(Atomic Layer Chemical Vapor Deposition,ALCVD)。原子层沉积是在一个加热反应的衬底上连续引入至少两种气相前驱体源,化学吸附至表面饱和时自动终止,适当的过程温度阻碍了分子在表面的物理吸附。一个基本的原子层沉积循环包括四个步骤:脉冲A,清洗A,脉冲B和清洗B。沉积循环不断重复直至获得所需的薄膜厚度,是制作纳米结构从而形成纳米器件极佳的工具。

PEALD的优点包括:

1. 可以通过控制反应周期数精确控制薄膜的厚度,从而达到原子层厚度精度的薄膜;

2. 由于前驱体是饱和化学吸附,保证生成大面积均匀性的薄膜;

3. 可生成极好的三维保形性化学计量薄膜,作为台阶覆盖和纳米孔材料的涂层;

4. 可以沉积多组份纳米薄层和混合氧化物;

5. 薄膜生长可在低温下进行(室温到400度以下);

6. 可广泛适用于各种形状的衬底;

7. 原子层沉积生长的金属氧化物薄膜可用于栅极电介质、电致发光显示器绝缘体、电容器电介质和MEMS器件,生长的金属氮化物薄膜适合于扩散势垒。

等离子增强原子层沉积PEALD的应用:

1) High-K介电材料 (Al2O3, HfO2, ZrO2, PrAlO, Ta2O5, La2O3);

2) 导电门电极 (Ir, Pt, Ru, TiN);

3) 金属互联结构 (Cu, WN, TaN,Ru, Ir);

4) 催化材料 (Pt, Ir, Co, TiO2, V2O5);

5) 纳米结构 (All ALD Material);

6) 生物医学涂层 (TiN, ZrN, TiAlN, AlTiN);

7) ALD金属 (Ru, Pd, Ir, Pt, Rh, Co, Cu, Fe, Ni);

8) 压电层 (ZnO, AlN, ZnS);

9) 透明电学导体 (ZnO:Al, ITO);

10) 紫外阻挡层 (ZnO, TiO2);

11) OLED钝化层 (Al2O3);

12) 光子晶体 (ZnO, ZnS:Mn, TiO2, Ta3N5);

13) 防反射滤光片 (Al2O3, ZnS, SnO2, Ta2O5);

14) 电致发光器件 (SrS:Cu, ZnS:Mn, ZnS:Tb, SrS:Ce);

15) 工艺层如蚀刻栅栏、离子扩散栅栏等 (Al2O3, ZrO2);

16) 光学应用如太阳能电池、激光器、光学涂层、纳米光子等 (AlTiO, SnO2, ZnO);

17) 传感器 (SnO2, Ta2O5);

18) 磨损润滑剂、腐蚀阻挡层 (Al2O3, ZrO2, WS2);

系统配制:

基片尺寸:6英寸、8英寸、12英寸;

加热温度:25℃—400℃(可选配更高);

均匀性: < 2%;

前驱体数:4路(可选配6路);

兼容性: 可兼容100级超净室;

尺寸:950mm x 700mm;

ALD及PE-ALD技术;

目前可以沉积的材料包括:

1) 氧化物: Al2O3, TiO2, Ta2O5, ZrO2, HfO2, SnO2, ZnO, La2O3, V2O5, SiO2,...

2) 氮化物: AlN, TaNx, NbN, TiN, MoN, ZrN, HfN, GaN, ...

3) 氟化物: CaF2, SrF2, ZnF2, ...

4) 金属: Pt, Ru, Ir, Pd, Cu, Fe, Co, Ni, ...

5) 碳化物: TiC, NbC, TaC, ...

6) 复合结构材料: AlTiNx, AlTiOx, AlHfOx, SiO2:Al, HfSiOx, ...

7) 硫化物: ZnS, SrS, CaS, PbS, ...

点赞
收藏
分享
         
咨询底价咨询底价

与“等离子体增强原子层沉积系统”相关的最新需求

有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
普鲁士蓝的有趣特性:不只是颜料,还可以用来回收金属,做电池及杀死肿瘤细胞? 冶金百科 | 金银冶金 - 金的物理和化学性质是什么? 金的主要化合物有哪些? 动力电池向高能量密度迭代,固态电池成“兵家必争之地” 没资质千万别碰!无证回收废电池违法! 被关停!紫金矿业刚果(金)铜钴矿部分产品辐射含量超标 最快2023年上市!超级“核电池”无需充电能正常使用90年之久 展商推荐 | 威格科技(苏州)股份有限公司邀您出席第三届全国钒钛资源与储能科技大会 金属百科 | 稀贵金属—“铼” 工信部发布第四批《减免车辆购置税的新能源汽车车型目录》 小知识 | 什么是水电铝,水电铝的优势有哪些? 衡水市:独立储能发展布局指导方案印发 亿纬锂能:圆柱电池备受偏爱,海外市场“势在必得” 小知识 | 钛合金是如何制造锻压的?它可以运用到哪些领域? 有色金属冶炼行业节能降碳改造升级实施指南 600万吨氧化铝、240万吨电解铝!东方希望大手笔布局拉开帷幕 冶金百科 | 有色金属冶金基础知识 小知识 | 铝矾土和铝矿石、铝土矿的区别 中科固能:总投资60亿,预计2030年之前建成全固态电池产业园 CWL-M离心萃取器助力打造湿法冶金绿色萃取车间 2025年新疆光伏电价创新低:每度电仅需0.1648元 冶金百科 | 有色冶金企业单位产品能源消耗——铝冶金企业单位产品能源消耗 铜业百科 | 铜及铜合金热处理概述 衡阳市市委书记秦国文到株冶有色调研 日产全固态电池试点生产线预计2025年3月投入运营 恒邦股份荣登2021年《财富》中国500强排行榜294位 填补国内空白!中国首个分布式光伏建设领域安全规程正式发布实施 2024年度邱定蕃有色冶金青年科技奖获奖名单 西工大王锦程团队:难熔高熵合金激光增材制造取得新突破! 小知识 | 金属钼了解一下 坐在铜矿上的国家​:“铜矿之国”赞比亚到底有多“壕”?
科睿设备有限公司
企业认证:
营业执照待认证    手机号待认证
所属领域:
加工设备
企业性质:
-
经营范围:
-
联系电话:
852-2710-8200
详细地址:
-

报名参会

召开地址 贵州 - 贵阳
召开日期 2026年08月06日 ~ 08日
召开地址 内蒙 - 呼和浩特
召开日期 2026年08月12日 ~ 14日
召开地址 河南 - 郑州
召开日期 2026年08月15日 ~ 17日
召开地址 河南 - 洛阳
召开日期 2026年08月21日 ~ 23日
硒产业发展报告2026
推广

推荐产品
更多+

厂家:青岛垚鑫智能科技有限公司
厂家:青岛垚鑫智能科技有限公司
厂家:青岛垚鑫智能科技有限公司
厂家:青岛垚鑫智能科技有限公司
厂家:青岛垚鑫智能科技有限公司
山东省章丘鼓风机股份有限公司
宣传

推荐企业
更多+

最新更新产品

旋转缩分机
2026-07-31
密封式棒磨机
2026-07-31
2L台式旋转缩分机
2026-07-31
破碎缩分一体机
2026-07-31
筒型外滤式过滤机
2026-07-31
高效深锥浓缩机
2026-07-31
锌粉置换选金
2026-07-31
精密挤压棒
2026-07-31

慧博士报告
更多+

安徽霍桐仪器有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
店铺认领信息登记
0.234567s