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小型实验室紫外光刻机

小型实验室紫外光刻机

浏览量 887
规格/型号:暂无
品牌:菲斯特
应用领域:材料制备
产地:广东 - 佛山
厂家/供应商:佛山菲斯特科技有限公司
咨询电话::13690366001(请说明信息源自“北方有色网”)
更新时间:2025-04-10
级别:待认证

小型实验室紫外光刻机说明介绍

小型实验室紫外光刻机


佛山菲斯特科技有限公司美国Cygnus小型实验室紫外光刻机,品牌:菲斯特,产地:广东·佛山,类别属于光刻胶半导体整体解决方案。


可置于手掌的紫外光刻-表面处理系统


·无需超净间,办公桌就可完成光刻

·快速:典型30~100s一次光刻

·无需复杂培训,几乎"零"维护

·3000小时寿命,曝光高达60000次,使用10年!

*按每次曝光3分钟,每周光刻120次计算


系统组成(光刻系统,光源+光刻模块):


·平面微腔阵列光源模块

·接触式光刻模块:接触式光刻曝光


系统组成(表面处理,光源+泛曝光模块):

·泛曝光模块:光刻胶去除和材料表面处理

·平面微腔阵列光源模块


专利技术的平面微腔阵列光源

·超高的输出强度:>10mW/cm2

·杰出的光束均匀度:可用光圈的3%

·绿色技术:无汞等有毒易燃气体和物质

·加工速度快、一致性好


一般实验室实现亚微米级加工

·光刻分辨率:<0.5μm,典型可达0.35μm


新一代紫外波长:172 nm

·无机物衬底可使用一般有机物做光刻胶(无需购买昂贵的光刻胶)

·无需显影,步骤简单、垂直度好、不会造成除胶困难



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