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区熔晶体生长系统

区熔晶体生长系统

259
规格/型号：FZ-14
品牌：PVA TePla
应用领域：PVA
产地：北京 - 北京
厂家/供应商：PVA TePla 中国
咨询电话:：010-65814049（请说明信息源自“中冶有色网”）
更新时间：2025-03-06
级别：待认证

区熔晶体生长系统说明介绍

区熔晶体生长系统

FZ-14 区熔晶体生长系统是专为工业生产直径达100毫米(4英寸)的单晶硅晶体而设计。根据源棒的尺寸，可以拉出长度达1. 1米的晶体。在这个过程中，晶体的直径和液体区的高度可以通过摄像系统来监测。并且该系统的上部主轴和线圈都是自动定位的。该系统采用无接触熔化工艺，通过使用涡轮分子泵和超纯氩气作为工艺气体，产生高极限真空环境，有效地防止了工艺过程中的污染，同时还能将氮气以受控的方式引入工艺炉体。

PVA TePla为您提供更多个性化选择，例如用于掺杂的气体掺杂系统、封闭式去离子冷却水系统、原料棒的修整器和调整籽晶方向的系统。

产品数据概览:

材料：硅

晶体

晶体 1,100 mm

晶体拉动长度： 长达100 mm (4″)

晶体直径： 2.5 x 10-5 mbar

极限真空度： 0.5 bar(g)

发电机

输出电压： 30 kW

频率： 2.4 MHz

上轴

进料速度： 最高30 mm/min

上部旋转： 最高35 rpm

下轴

拉动速度： 最高 30 mm/min

下部旋转： 最高 30 rpm

尺寸规格

高度 6,280 mm

宽度： 2,750 mm

深度： 3,000 mm

重量(总)： 约 4,900 kg
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标签：
区熔晶体生长系统
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PVA TePla 中国
企业认证：
  
所属领域：
PVA
企业性质：
-
经营范围：
-
联系电话：
010-65814049
详细地址：
-

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