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硅芯炉

硅芯炉

112
规格/型号：SR110
品牌：PVA TePla
应用领域：材料制备
产地：北京 - 北京
厂家/供应商：PVA TePla 中国
咨询电话:：010-65814049（请说明信息源自“中冶有色网”）
更新时间：2025-03-06
级别：待认证

硅芯炉说明介绍

硅芯炉

SR110硅芯炉的工作方式与区熔系统类似。该系统使用一个在高频感应线圈下直径为100毫米的多晶硅棒(源棒)。根据硅棒的长度，在多个拉动工艺中可以产生特定数量的硅芯;然后这些硅芯被用作西门子下游工艺中的原棒。通过隔离阀将接收炉体与工艺炉体分开，可以将完成的硅芯取出，并立即开始下一个工艺。通过引入扩散到熔体中的工艺气体可以对细杆进行掺杂处理。

改良后的硅芯炉设计采用两个直径约为50毫米的源杆，并可以从每个源杆上拉出硅芯。

产品数据概览:

材料：硅

细杆

长度： 最长3200毫米

直径： 大约8毫米

源杆

长度： 最长 1,000 mm

直径： 100 mm (4")

极限真空度： 5 x 10-2 mbar

最大过压： 0.35 bar(g)

发电机

输出电压： 30 kW

频率： 2.8 MHz

上拉式进料

拉动速度： 最高60毫米/分钟

下拉式进料

拉动速度： 最高 10 mm/min

转速： 高达 20 rpm

尺寸规格

高度： 7,300 mm

宽度： 1,820 mm

深度: 1,250 mm

占地面积(总计)： 2,500 mm x 2,800 mm

重量(总计)： 约6,000 kg
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标签：
硅芯炉
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PVA TePla 中国
企业认证：
  
所属领域：
材料制备
企业性质：
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经营范围：
-
联系电话：
010-65814049
详细地址：
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