JX300FP是一款12寸全自动Si衬底抛光设备,专为满足高精度抛光需求而设计。它采用8Head3Platen结构,产能高,能大幅提升生产效率。每个Head可分区域精密加压,有效提高工件平坦度,确保抛光精度。设备功能齐全,标配清洗机,还可根据工艺需求选配HPMJ和在线检测模块。它支持SECE/GEM自动化对接,实现高效生产管理。在服务方面,提供24小时×7天技术支持,2小时内给出解决方案,2天内到达现场解决问题,为客户提供了全方位的保障。
12寸全自动衬底抛光 JX300FP
JX300FP是一款12寸全自动Si衬底抛光设备 可以满足客户高精度抛光需求 提供专业的抛光工艺及定制化的接口对应各种工艺路线
设备优点:
高产能:通过8Head3Platen的结构,有效提高生产产能
高精度:每个Head可分多个区域,进行精密加压,提高工件的平坦度
全功能:标配清洗机,根据工艺需求,可选配HPMJ、在线检测
自动化:SECE/GEM对应
服务快:24H×7天技术对应,2H内提供解决方案,2天内达到现场对应