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全自动衬底抛光

全自动衬底抛光

469
规格/型号:JX300FP
品牌:奥特维
应用领域:材料制备
产地:江苏 - 无锡
厂家/供应商:无锡奥特维科技股份有限公司
咨询电话::0510-81816658(请说明信息源自“中冶有色网”)
更新时间:2025-02-19
级别:待认证

全自动衬底抛光说明介绍

全自动衬底抛光

JX300FP是一款12寸全自动Si衬底抛光设备,专为满足高精度抛光需求而设计。它采用8Head3Platen结构,产能高,能大幅提升生产效率。每个Head可分区域精密加压,有效提高工件平坦度,确保抛光精度。设备功能齐全,标配清洗机,还可根据工艺需求选配HPMJ和在线检测模块。它支持SECE/GEM自动化对接,实现高效生产管理。在服务方面,提供24小时×7天技术支持,2小时内给出解决方案,2天内到达现场解决问题,为客户提供了全方位的保障。


12寸全自动衬底抛光 JX300FP


JX300FP是一款12寸全自动Si衬底抛光设备 可以满足客户高精度抛光需求 提供专业的抛光工艺及定制化的接口对应各种工艺路线


设备优点:


高产能:通过8Head3Platen的结构,有效提高生产产能

高精度:每个Head可分多个区域,进行精密加压,提高工件的平坦度

全功能:标配清洗机,根据工艺需求,可选配HPMJ、在线检测

自动化:SECE/GEM对应

服务快:24H×7天技术对应,2H内提供解决方案,2天内达到现场对应

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无锡奥特维科技股份有限公司
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所属领域:
材料制备
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经营范围:
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0510-81816658
详细地址:
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