真空感应高温石墨化炉是在真空或惰性气体条件下利用中频电源通过螺旋型的水冷感应线圈产生交变磁场,使感应线圈内的石墨坩埚产生感应电动势,中频电流就在坩埚内形成环流,从而使坩埚产生高温并辐射到工件,使其达到所需要的温度。该炉主要用于碳素制品的石墨化或气相沉积石墨。
真空感应化学气相沉积炉是在真空或保护气氛下,利用中频感应原理将置于感应线圈内的石墨坩埚加热,也可电阻加热,石墨坩埚中放入被制备的碳-碳复合材料。在一定温度下将坩埚加热到规定温度,并通入稀释的碳氢气体。
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