陕西有色金属无损检测设备

（霍尔）迁移率 815     

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设备主要利用微波测试原理，非接触式测量射频HEMT结构半导体材料的方阻、迁移率及载流子浓度。可实现单点测试， 亦可以实现面扫描的测试功能，具有快速，无损，准确等优势，可用于材料研发及工艺的监测及质量控制。 特点 适用于迁移率量测范围在100cm²/V • s～3000cm²/V • s 的射频HEMT外延片。非接触，非损伤测试，具有测试速度快， 重复性佳，测试敏感性高，可以直接测试产品片等优点。

方阻(电阻率)测试仪(片与锭） 818     

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设备主要利用涡电流测试原理，非接触测试半导体材料，石墨烯，透明导电膜，碳纳米管，金属等材料的方阻（电阻率）。 可实现单点测试，亦可以实现面扫描的测试功能，可用于材料研发及工艺的监测及质量控制。 本仪器为非接触，非损伤测试，具有测试速度快，重复性佳，测试敏感性高，可以直接测试产品片。

非接触式无损检测设备 824     

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非接触式无损方块电阻测试仪、晶圆方阻测试仪、方阻测试仪、硅片电阻率测试仪、涡流法高低电阻率分析仪、晶锭电阻率分析仪、涡流法电阻率探头和PN探头测试仪、迁移率(霍尔)测试仪、少子寿命测试仪,晶圆、硅片厚度测试仪、表面光电压仪JPV\SPV.汞CV. ECV。为碳化硅、硅片、氮化镓、衬底和外延厂商提供测试和解决方案。 凭借技术和丰富的产品设计经验，申请各项知识产权17余项,已发展成为中国大陆少数具有一定竞争力的半导体专用设备提供商，产品得到众多国内外主流半导体厂商的认可，并取得良好的市场口碑。