滑轨式管式炉一体化结构设计,用于1100℃以下快速升温快速降温的特殊工艺要求,通过移动炉体实现快速冷却的目的。同时也可以预先设定温度,然后移动到样品处,达到快速升温的效果。适合使用广泛的RTP工艺及CVD石墨烯工艺。
适用范围:本产品是根据用户所提要求设计,并参照JB/T5520-91干燥箱技术条件制造,主要为航空、航天、汽车、**、石油、化工、船舶、电子、半导体通信等科研及生产单位提供恒定或可变化温度气候环境,供
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