1.本发明属于新能源器件技术领域，具体涉及固态电池领域，尤其涉及一种等离子诱导生长高结晶薄膜电极及薄膜电池的制备方法。
背景技术：
2.近年来兼具高能量与高功率密度的锂离子电池备受瞩目，由于锂电池多为液态体系，且液态体系存在较大安全隐患，因此锂电池的进一步发展长期受阻，解决液态体系电池安全问题的可行性途径就是将电池进行固态化和薄膜化处理。薄膜化的固态电池具有安全系数高、环境友好、可塑性强、厚度可调、可采用物理方法批量制备等优势，其高能量密度和灵活的结构设计在军工、医疗、航天与可穿戴电子器件等领域的应用前景尤为突出。
3.目前，全固态薄膜电池的制备工艺仍是影响其电化学性能和生长效率的主要因素，如典型的licoo2/lipon/li全固态薄膜电池体系，常温合成的licoo2薄膜为结晶性极低的无定型结构，这种无定型结构必须通过后续的高温退火过程才能形成结晶度更好的层状结构，然而高温退火过程会引发下面一系列问题：1)外部高温退火处理不仅会导致薄膜基底被污染，而且会不可避免的在薄膜中引入较大的内应力，使薄膜出现大量的微裂纹并伴随微短路情况的出现，这将不利于锂离子传输，使得薄膜表现出较差的电化学性能；2)高温退火过程中退火温度一般在600℃以上，该温度会使其他功能材料，如光刻胶、低熔点金属镀层等发生熔化，导致固态电池的工艺兼容性极差；3)高温退火过程中不可避免的会接触到空气中的co2，高温条件下co2会在薄膜表面生成碳酸盐绝缘体，致使薄膜界面电阻增加，严重影响材料的电化学性能；4)在全电池制备工艺中，退火后的薄膜表面连续生长电解质，由于应力不匹配会导致界面分层现象产生。
4.目前在低于350℃，甚至200℃条件下，生长高结晶性、低表面粗糙度和界面应力均匀的薄膜材料是固态电池领域亟待突破的技术难题，亦是能源/器件一体化制备环节中亟需攻克的技术难点。
5.因此，亟需一种能够在较低温度下制备得到高结晶度薄膜电极，以及薄膜电池制备方法。
技术实现要素：
6.有鉴于此，本发明提供一种等离子诱导生长高结晶的薄膜电极及薄膜电池的制备方法，该方法在薄膜电池沉积过程中，采用等离子体诱导使薄膜材料高结晶生长，进而制备得到高结晶度薄膜电极以及界面无污染、应力分布均匀的薄膜电池。
7.为达此目的，本发明采用以下技术方案：一种等离子诱导生长高结晶的薄膜电极及薄膜电池的制备方法，所述制备方
声明：
“等离子诱导生长高结晶薄膜电极及薄膜电池的制备方法与流程” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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编辑：中冶有色网
来源：中国工程物理研究院电子工程研究所
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2025年06月06日 ~ 08日 
