用于电子级超高纯石英砂高温真空煅烧炉及其制备方法与流程

1.本发明涉及石英砂加工技术领域，具体为一种用于电子级超高纯石英砂高温真空煅烧炉及其制备方法。

背景技术：

2.石英砂是无色、透明的石英的变种，是一种坚硬、耐磨、化学性能稳定的硅酸盐矿物，其主要矿物成分是sio2，有较高的耐火性能，常见的石英矿通常可分为石英、鳞石英、白矽石三大类，而电子级超高纯石英砂在加工过程中是需要用高温真空煅烧炉进行煅烧的，这样制作成的石英砂中只含有99.98%的sio2和0.0003%的fe2o3，这种石英砂是电子核心器件、光导通讯材料、太阳能电池等高新技术产业不可缺少的重要原材料。

3.现有的电子级超高纯石英砂用高温真空煅烧炉在实际使用过程中虽然可以让石英砂进行煅烧操作，且在煅烧过程中利用喷淋和抽吸的方式将煅烧时产生的漂浮灰分给排出炉内，但是使用效果较差，且在排出的水中只能携带少量的灰分，即炉内煅烧的石英砂可能会因为炉内存在灰分较多的原因而影响其煅烧的效果，降低煅烧后电子级超高纯石英砂的质量，继而降低高温真空煅烧炉的使用效率。

4.因此，需要提出新型的一种用于电子级超高纯石英砂高温真空煅烧炉及其制备方法，以便于解决上述中提出的问题。

技术实现要素：

5.本发明的目的在于提供一种用于电子级超高纯石英砂高温真空煅烧炉及其制备方法，以解决上述背景技术提出的高温真空煅烧炉不能很好地将石英砂煅烧时产生地漂浮在炉内的灰分给排出炉内，从而影响其煅烧效果，降低煅烧后电子级超高纯石英砂的质量，继而降低高温真空煅烧使用效率的问题。

6.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种用于电子级超高纯石英砂高温真空煅烧炉，包括煅烧炉本体，所述煅烧炉本体的一侧固定有放置架，所述放置架的顶部固定有凹型块，所述凹型块的内部设置有双槽保温块，所述双槽保温块的两侧均固定贯穿有两个圆管，所述放置架的顶部安装有风机，所述煅烧炉本体的进气端安装有进气管，每个所述圆管的一端均安装有电动球阀，四个所述电动球阀共分为两组，每组所述电动球阀的同一端之间均安装有三通管，所述凹型块的顶部设置有两个相对称的盖板，两个所述盖板的内部均设置有保温板，每个所述盖板的两侧之间均设置有两个u型架，四个所述u型架共分为两组，每组所述u型架的相对一面之间均等距分布固定有多个连接块，所述煅烧炉本体的出气端安装有出气管，所述放置架的顶部安装有控制器，所述双槽保温块的两个凹槽的内部均等距分布设置有多个耐高温滤芯。

7.优选的，四个所述圆管共分为两组，两组所述圆管的相背一端分别活动贯穿凹型块的内壁两侧，所述进气管的输入端与风机的输出端相连接，其中一个所述三通管的输出端与风机的输入端相连接。

8.优选的，每个所述u型架均通过螺栓安装在凹型块上，所述出气管的输出端与另一个三通管的输入端相连接，所述控制器分别与四个电动球阀电性连接。

9.优选的，所述放置架的顶部安装有控制开关，所述放置架的顶部固定有空心块，所述空心块的顶部等距分布开设有多个第一矩形孔。

10.优选的，每个所述第一矩形孔的内部均设置有放置盒，每个所述放置盒的正表面和后表面均开设有第二矩形孔，每个所述放置盒的底部均等距分布开设有多个通气槽。

11.优选的，所述空心块的内壁底部开设有聚水槽，所述聚水槽的内壁开设有出水孔，所述出水孔的内部固定套接有出水管。

12.优选的，所述出水管的输出端安装有密封塞，所述空心块的一侧安装有风扇，所述风扇的一侧安装有聚气壳。

13.优选的，所述聚气壳的输出端安装有软管，所述软管的输出端安装有喷头，所述放置架的顶部固定有储物盒，所述喷头放置于储物盒的内部。

14.一种用于电子级超高纯石英砂高温真空煅烧炉的制备方法，包括以下步骤：s1、当需要对石英砂真空煅烧时产生的灰分进行过滤处理时，此时直接先利用控制器开启相适配的两个电动球阀，关闭另外两个相适配的电动球阀，接着启动风机；s2、启动的风机会让出气管的输入端获得吸力，将真空煅烧炉炉内漂浮的灰分给吸出，导流到所对应的双槽保温块的凹槽内部，这时在双槽保温块内部放置的耐高温滤芯的作用下，将吸出的热气体中带有的灰分给过滤掉，被过滤后的热气体会通过风机和进气管的配合，重新回到真空煅烧炉中；s3、当需要更换使用时间长的耐高温滤芯时，此时先关闭风机，同时通过控制器关闭之间开启的相适配的两个电动球阀，开启另外两个关闭相适配的电动球阀，接着再启动风机继续工作；s4、当需要更换新的耐高温滤芯，此时启动风扇，同时在每个放置盒内部放入制冷的冰块，同时再将喷头的出口对准需打开的盖板位置，接着取下所对应的用来固定的u型架，之后利用工具结合喷头喷出的冷气配合，将盖板慢慢打开，后进行耐高温滤芯更换即可。

15.与现有技术相比，本发明的有益效果是：1、通过在凹型块、双槽保温块、圆管、风机、进气管、三通管、电动球阀、u型架、连接块、出气管、控制器和耐高温滤芯的配合下，可以对真空煅烧炉中石英砂煅烧过程中产生的灰分进行过滤处理，同时可以在不影响石英砂煅烧时进行耐高温滤芯更换，有效地保证了石英砂煅烧的质量，同时保证工作效率，有效地提高了高温真空煅烧炉的使用效率，在风机的作用下，可以为出气管的输入端提供强大的吸力，在凹型保温块和保温板的配合下，可以将降低热气体中热量的流失，在控制器的作用下，可以控制电动球阀的启用和关闭，在u型架、连接块和螺栓的配合下，可以将盖板紧紧地固定在凹型块的顶部；2、通过在空心块、放置盒、通气槽、风扇、聚气壳、软管和喷头的配合下，可以通过喷冷气体来降低工作人员打开盖板，双槽保温块凹槽内部溢出热气体，烫伤工作人员的情况，有效地保护工作人员的操作安全，在聚水槽的作用下，可以进行水珠汇集收集操作，在风扇的作用下，可以将环境中的气体吸入，导流到喷头的内部，在聚气壳的作用下，可以将从空心块导流过来的气体聚集导流到软管的内部，在储物盒的作用下，可以放置喷头。

附图说明

16.图1为本发明一种用于电子级超高纯石英砂高温真空煅烧炉的立体图；图2为本发明一种用于电子级超高纯石英砂高温真空煅烧炉的另一角度立体图；图3为本发明一种用于电子级超高纯石英砂高温真空煅烧炉的部分立体图；图4为本发明一种用于电子级超高纯石英砂高温真空煅烧炉的另一角度部分立体图；图5为本发明一种用于电子级超高纯石英砂高温真空煅烧炉的凹型块、双槽保温块和圆管的立体结构示意图；图6为本发明一种用于电子级超高纯石英砂高温真空煅烧炉的盖板和保温板的立体结构示意图；图7为本发明一种用于电子级超高纯石英砂高温真空煅烧炉的放置盒、通气槽和第二矩形孔的立体结构示意图；图8为本发明一种用于电子级超高纯石英砂高温真空煅烧炉的空心块、第一矩形孔、聚水槽和出水孔的立体结构示意图。

17.图中：1、煅烧炉本体；2、放置架；3、凹型块；4、双槽保温块；5、圆管；6、风机；7、进气管；8、三通管；9、电动球阀；10、盖板；11、保温板；12、u型架；13、连接块；14、出气管；15、控制器；16、耐高温滤芯；17、控制开关；18、空心块；19、第一矩形孔；20、放置盒；21、第二矩形孔；22、通气槽；23、聚水槽；24、出水孔；25、出水管；26、密封塞；27、风扇；28、储物盒；29、聚气壳；30、软管；31、喷头。

具体实施方式

18.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施条例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

19.参照图1－图8所示：一种用于电子级超高纯石英砂高温真空煅烧炉，包括煅烧炉本体1，煅烧炉本体1的一侧固定有放置架2，放置架2的顶部固定有凹型块3，凹型块3的内部设置有双槽保温块4，双槽保温块4的两侧均固定贯穿有两个圆管5，放置架2的顶部安装有风机6，煅烧炉本体1的进气端安装有进气管7，每个圆管5的一端均安装有电动球阀9，四个电动球阀9共分为两组，每组电动球阀9的同一端之间均安装有三通管8，凹型块3的顶部设置有两个相对称的盖板10，两个盖板10的内部均设置有保温板11，每个盖板10的两侧之间均设置有两个u型架12，四个u型架12共分为两组，每组u型架12的相对一面之间均等距分布固定有多个连接块13，煅烧炉本体1的出气端安装有出气管14，放置架2的顶部安装有控制器15，双槽保温块4的两个凹槽的内部均等距分布设置有多个耐高温滤芯16。

20.如图1－图5所示，四个圆管5共分为两组，两组圆管5的相背一端分别活动贯穿凹型块3的内壁两侧，进气管7的输入端与风机6的输出端相连接，其中一个三通管8的输出端与风机6的输入端相连接，方便在风机6的作用下，可以为出气管14的输入端提供强大的吸力。

21.如图1－图5所示，每个u型架12均通过螺栓安装在凹型块3上，出气管14的输出端与另一个三通管8的输入端相连接，控制器15分别与四个电动球阀9电性连接，方便在控制器15的作用下，可以控制每个电动球阀9的启动或关闭。

22.如图1－图4和图8所示，放置架2的顶部安装有控制开关17，放置架2的顶部固定有空心块18，空心块18的顶部等距分布开设有多个第一矩形孔19，方便在控制开关17的作用下，可以控制风扇27的启动或关闭。

23.如图4、图7和图8所示，每个第一矩形孔19的内部均设置有放置盒20，每个放置盒20的正表面和后表面均开设有第二矩形孔21，每个放置盒20的底部均等距分布开设有多个通气槽22，方便在放置盒20的作用下，可以放置制冷冰块。

24.如图1、图4和图8所示，空心块18的内壁底部开设有聚水槽23，聚水槽23的内壁开设有出水孔24，出水孔24的内部固定套接有出水管25，方便在出水管25的作用下，可以将聚水槽23内部收集的水给导流出去。

25.如图1、图3、图4和图8所示，出水管25的输出端安装有密封塞26，空心块18的一侧安装有风扇27，风扇27的一侧安装有聚气壳29，方便在密封塞26的作用下，可以防止聚水槽23内部收集的水从出水管25流出。

26.如图1－图4所示，聚气壳29的输出端安装有软管30，软管30的输出端安装有喷头31，放置架2的顶部固定有储物盒28，喷头31放置于储物盒28的内部，方便在喷头31的作用下，可以将喷出的冷气体对准所需的位置。

27.一种用于电子级超高纯石英砂高温真空煅烧炉的制备方法，包括以下步骤：s1、当需要对石英砂真空煅烧时产生的灰分进行过滤处理时，此时直接先利用控制器15开启相适配的两个电动球阀9，关闭另外两个相适配的电动球阀9，接着启动风机6；s2、启动的风机6会让出气管14的输入端获得吸力，将真空煅烧炉炉内漂浮的灰分给吸出，导流到所对应的双槽保温块4的凹槽内部，这时在双槽保温块4内部放置的耐高温滤芯16的作用下，将吸出的热气体中带有的灰分给过滤掉，被过滤后的热气体会通过风机6和进气管7的配合，重新回到真空煅烧炉中；s3、当需要更换使用时间长的耐高温滤芯16时，此时先关闭风机6，同时通过控制器15关闭之间开启的相适配的两个电动球阀9，开启另外两个关闭相适配的电动球阀9，接着再启动风机6继续工作；s4、当需要更换新的耐高温滤芯16，此时启动风扇27，同时在每个放置盒20内部放入制冷的冰块，同时再将喷头31的出口对准需打开的盖板10位置，接着取下所对应的用来固定的u型架12，之后利用工具结合喷头31喷出的冷气配合，将盖板10慢慢打开，后进行耐高温滤芯16更换即可。

28.本发明中，当需要进行石英砂高温真空煅烧时，此时直接将需要进行煅烧的石英砂放入真空煅烧炉炉内，接着直接启动真空煅烧炉，这时真空煅烧炉会利用高分子聚合物在一定的温度时可熔融原理时，隔绝空气进行裂解焦化，当温度不断升高时（温度可根据工艺要求拟定），将会有少量氧气和一定真空度的条件下完全氧化。这时利用这一特性，把石英砂内部杂质煅烧至表面，并受热脱离，形成漂浮灰分，同时利用控制器15打开每组相适配的其中一个电动球阀9，关闭每组相适配的另一个电动球阀9，接着启动风机6，此时启动的风机6的输入端会在两个三通管8，两个圆管5、凹型块3、双槽保温块4和保温板11的配合下，

让出气管14的输入端获得强大的吸力，此时真空煅烧炉中漂浮的灰分会直接从真空煅烧炉的出气端被导流出，接着进入出气管14的内部，之后进入另一个三通管8的内部，再接着通过打开的电动球阀9进入所对应的圆管5的内部，再之后进入所对应的双槽保温块4的一个凹槽的内部，这时在所对应多个耐高温滤芯16的配合下，可以将气体中混有的灰分给过滤下来，而被过滤后的热气体会直接从所对应的圆管5进入与之连接的电动球阀9的内部，接着进入其中一个三通管8的内部，之后进入风机6的内部，最后通过进气管7的配合，直接将过滤后的热气体给导流回真空煅烧炉中，此方法可以将炉内石英砂煅烧时产生的漂浮灰分给过滤掉，保证石英砂煅烧后的质量，即有效地提高了真空煅烧炉的使用效率，当需要将使用时间较长的双槽保温块4其中一个凹槽内部的耐高温滤芯16进行更换时，此时可以在不停止石英砂煅烧时进行耐高温滤芯16更换，首先，先关闭风机6，接着利用控制器15将之前打开的两个相适配的电动球阀9给关闭，把之前关闭的两个相适配的电动球阀9给打开，之后在启动风机6进行真空煅烧炉炉内灰分过滤，同时取下需要更换耐高温滤芯16位置上的两个u型架12，同时在每个放置盒20的内部放入制冷的冰块，并利用控制开关17启动风扇27，此时启动的风扇27的进风口会产生较大的吸力，这时空心块18的另一侧会不断地被吸入气体进来，并不断的向风扇27的进风口输入去，这时经过空心块18内部的气体会在冰块散发的冷气传递到空心块18内部的作用下，并降温，接着在风扇27的作用下，通过聚气壳29的配合，直接将冷气体导流到软管30的内部，这时在将喷头31拿起，将喷头31的出口对准需要打开的盖板10，此时利用工具慢慢地打开盖板10，这时再将冷气不断地向打开的双槽保温块4的一个凹槽内部喷去，这时可以有效地降低高温烫伤操作者的情况，当盖板10带动保温板11完全从所对应的双槽保温块4的一个凹槽顶部移出时，此时即可利用工具将需要更换的耐高温滤芯16从所对应凹槽内部取出，进行清理即可，同时当不断地有气体经过空心块18的内部时，此时气体中的水分会在受冷温度的作用下，发生析出冷凝成水珠的情况，这时在聚水槽23的作用下，可以对产生的水珠进行汇集收集，当需要将聚水槽23内部收集的水处理掉时，此时直接取下密封塞26，这时聚水槽23内部的水会直接进入出水管25的内部，最后从出水管25的输出端流出。

29.其中，煅烧炉本体1、风机6、电动球阀9、耐高温滤芯16、控制器15、风扇27和控制开关17均为现有技术，其组成部分和使用原理均为公开技术，在这里不做过多的解释。

30.尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。技术特征：

1.一种用于电子级超高纯石英砂高温真空煅烧炉，包括煅烧炉本体（1），其特征在于：所述煅烧炉本体（1）的一侧固定有放置架（2），所述放置架（2）的顶部固定有凹型块（3），所述凹型块（3）的内部设置有双槽保温块（4），所述双槽保温块（4）的两侧均固定贯穿有两个圆管（5），所述放置架（2）的顶部安装有风机（6），所述煅烧炉本体（1）的进气端安装有进气管（7），每个所述圆管（5）的一端均安装有电动球阀（9），四个所述电动球阀（9）共分为两组，每组所述电动球阀（9）的同一端之间均安装有三通管（8），所述凹型块（3）的顶部设置有两个相对称的盖板（10），两个所述盖板（10）的内部均设置有保温板（11），每个所述盖板（10）的两侧之间均设置有两个u型架（12），四个所述u型架（12）共分为两组，每组所述u型架（12）的相对一面之间均等距分布固定有多个连接块（13），所述煅烧炉本体（1）的出气端安装有出气管（14），所述放置架（2）的顶部安装有控制器（15），所述双槽保温块（4）的两个凹槽的内部均等距分布设置有多个耐高温滤芯（16）。2.根据权利要求1所述的用于电子级超高纯石英砂高温真空煅烧炉，其特征在于：四个所述圆管（5）共分为两组，两组所述圆管（5）的相背一端分别活动贯穿凹型块（3）的内壁两侧，所述进气管（7）的输入端与风机（6）的输出端相连接，其中一个所述三通管（8）的输出端与风机（6）的输入端相连接。3.根据权利要求1所述的用于电子级超高纯石英砂高温真空煅烧炉，其特征在于：每个所述u型架（12）均通过螺栓安装在凹型块（3）上，所述出气管（14）的输出端与另一个三通管（8）的输入端相连接，所述控制器（15）分别与四个电动球阀（9）电性连接。4.根据权利要求1所述的用于电子级超高纯石英砂高温真空煅烧炉，其特征在于：所述放置架（2）的顶部安装有控制开关（17），所述放置架（2）的顶部固定有空心块（18），所述空心块（18）的顶部等距分布开设有多个第一矩形孔（19）。5.根据权利要求4所述的用于电子级超高纯石英砂高温真空煅烧炉，其特征在于：每个所述第一矩形孔（19）的内部均设置有放置盒（20），每个所述放置盒（20）的正表面和后表面均开设有第二矩形孔（21），每个所述放置盒（20）的底部均等距分布开设有多个通气槽（22）。6.根据权利要求4所述的用于电子级超高纯石英砂高温真空煅烧炉，其特征在于：所述空心块（18）的内壁底部开设有聚水槽（23），所述聚水槽（23）的内壁开设有出水孔（24），所述出水孔（24）的内部固定套接有出水管（25）。7.根据权利要求6所述的用于电子级超高纯石英砂高温真空煅烧炉，其特征在于：所述出水管（25）的输出端安装有密封塞（26），所述空心块（18）的一侧安装有风扇（27），所述风扇（27）的一侧安装有聚气壳（29）。8.根据权利要求7所述的用于电子级超高纯石英砂高温真空煅烧炉，其特征在于：所述聚气壳（29）的输出端安装有软管（30），所述软管（30）的输出端安装有喷头（31），所述放置架（2）的顶部固定有储物盒（28），所述喷头（31）放置于储物盒（28）的内部。9.一种用于电子级超高纯石英砂高温真空煅烧炉的制备方法，其特征在于，使用了权利要求1-8任一项的用于电子级超高纯石英砂高温真空煅烧炉，包括以下步骤：s1、当需要对石英砂真空煅烧时产生的灰分进行过滤处理时，此时直接先利用控制器（15）开启相适配的两个电动球阀（9），关闭另外两个相适配的电动球阀（9），接着启动风机（6）；

s2、启动的风机（6）会让出气管（14）的输入端获得吸力，将真空煅烧炉炉内漂浮的灰分给吸出，导流到所对应的双槽保温块（4）的凹槽内部，这时在双槽保温块（4）内部放置的耐高温滤芯（16）的作用下，将吸出的热气体中带有的灰分给过滤掉，被过滤后的热气体会通过风机（6）和进气管（7）的配合，重新回到真空煅烧炉中；s3、当需要更换使用时间长的耐高温滤芯（16）时，此时先关闭风机（6），同时通过控制器（15）关闭之间开启的相适配的两个电动球阀（9），开启另外两个关闭相适配的电动球阀（9），接着再启动风机（6）继续工作；s4、当需要更换新的耐高温滤芯（16），此时启动风扇（27），同时在每个放置盒（20）内部放入制冷的冰块，同时再将喷头（31）的出口对准需打开的盖板（10）位置，接着取下所对应的用来固定的u型架（12），之后利用工具结合喷头（31）喷出的冷气配合，将盖板（10）慢慢打开，后进行耐高温滤芯（16）更换即可。

技术总结

本发明公开了一种用于电子级超高纯石英砂高温真空煅烧炉，包括煅烧炉本体，所述煅烧炉本体的一侧固定有放置架，所述放置架的顶部固定有凹型块，所述凹型块的内部设置有双槽保温块，所述双槽保温块的两侧均固定贯穿有两个圆管，所述放置架的顶部安装有风机，所述煅烧炉本体的进气端安装有进气管。本发明通过在凹型块、双槽保温块、圆管、风机、进气管、三通管、电动球阀、U型架、连接块、出气管、控制器和耐高温滤芯的配合下，可以对真空煅烧炉中石英砂煅烧过程中产生的灰分进行过滤处理，同时可以在不影响石英砂煅烧时进行耐高温滤芯更换，有效地保证了石英砂煅烧的质量，同时保证工作效率，有效地提高了高温真空煅烧炉的使用效率。有效地提高了高温真空煅烧炉的使用效率。有效地提高了高温真空煅烧炉的使用效率。

技术研发人员：徐源 徐煜清 徐传龙 冯维娥

受保护的技术使用者：江苏弘扬石英制品有限公司

技术研发日：2022.12.30

技术公布日：2023/5/23