1.本实用新型涉及真空镀膜技术领域,具体是凸轮传动送料机构。
背景技术:
2.众所周知,在某些材料的表面上,只要镀上一层薄膜,就能使材料具有许多新的、良好的物理和化学性能,真空镀膜就是在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射,使其在被涂覆的物体(称基板、基片或基体)上凝固并沉积的方法。
3.目前的真空镀膜机中设置有坩埚组件,工作时将送料组件中的sio2环送入坩埚组件,因此需要设置相应的送料机构将sio2环送入坩埚机构。
4.目前的送料机构虽然可以进行送料,但需要设置相应的驱动机构,而且需要相应的程序控制,保证随着坩埚组件的转动将sio2环稳定送入,结构复杂,成本较高。
技术实现要素:
5.本实用新型的目的在于提供一种凸轮传动送料机构,以解决上述背景技术中提出的问题。
6.为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
7.凸轮传动送料机构,包括:
8.送料组件,所述送料组件包括:
9.放料件,用于随坩埚组件上的坩埚转动而进行放料;
10.支撑件,用于支撑放料件。
11.作为本实用新型的进一步技术方案,所述放料件包括:
12.凸轮,固定安装在坩埚组件的坩埚外侧;
13.开合单元,设置在所述支撑件上并与其滑动连接,当开合单元打开时sio2环能通过,当开合单元关闭时,sio2环不能通过;以及
14.滑动设置在所述支撑件上的凸轮轴,所述凸轮轴一端与凸轮相配合,另一端与开合单元相配合,当凸轮与凸轮轴接触时,凸轮轴推动开合单元打开。
15.作为本实用新型的更进一步技术方案,所述开合单元包括:
16.第一开合页,一端设置在所述支撑件内并与其滑动连接;
17.第二开合页,一端设置在所述支撑件内并与其滑动连接,用于与第一开合页配合对sio2环的通过进行控制;
18.弹性件,设置有两个,一个弹性件一端与第一开合页伸出支撑件的一端相连,另一端与支撑件相连,另一个弹性件一端与第二开合页伸出支撑件的一端相连,另一端与支撑件相连。
19.作为本实用新型的再进一步技术方案,所述弹性件为拉簧。
20.作为本实用新型的再进一步技术方案,所述支撑件包括:
21.送料底座,用于安装放料件;
22.盖板,与所述送料底座配合。
23.与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:通过设置送料组件使其随着坩埚组件的转动同步将sio2环逐个送入坩埚组件,无需设置额外的动力设备,降低了成本。
附图说明
24.图1为凸轮传动送料机构的主视图;
25.图2为凸轮传动送料机构的结构示意图;
26.图3为凸轮传动送料机构中送料组件的结构示意图;
27.图4为另一实施例中凸轮传动送料机构中送料组件的结构示意图;
28.图5为凸轮传动送料机构中送料组件的俯视图;
29.图6为另一实施例中凸轮传动送料机构中送料组件的俯视图。
30.图中:1
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坩埚组件、2
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送料组件、3
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坩埚底座、4
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坩埚、5
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凸轮、6
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sio2环、7
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送料底座、8
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盖板、9
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凸轮轴、10
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第一开合页、11
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第二开合页、12
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拉簧、13
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第一限位滑槽、14
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第二限位滑槽、15
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滑轴、16
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滑杆。
具体实施方式
31.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
32.本实用新型实施例是这样实现的,如图1
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3所示的凸轮5传动送料机构,包括:
33.送料组件2,所述送料组件2包括:
34.放料件,用于随坩埚组件1上的坩埚4转动而进行放料;
35.支撑件,用于支撑放料件。
36.在本实用新型在实际应用时,坩埚组件1进行转动时与送料组件接触,此时放料件在坩埚组件1的驱动下打开,将前一工序放料机构送来的sio2环6放出,当坩埚组件1越过送料组件2后,此时不再与放料件接触,此时放料件关闭,sio2环6无法通过,直到下一次坩埚组件1再与送料组件2接触时,放料件再次将一个sio2环6放出,如此往复,在不需要提供额外动力源的情况下即可将sio2环6的逐个送入坩埚组件1。
37.如图3、4所示,作为本实用新型一个优选的实施例,所述放料件包括:
38.凸轮5,固定安装在坩埚组件1的坩埚4外侧;
39.开合单元,设置在所述支撑件上并与其滑动连接,当开合单元打开时sio2环6能通过,当开合单元关闭时,sio2环6不能通过;以及
40.滑动设置在所述支撑件上的凸轮轴9,所述凸轮轴9一端与凸轮5相配合,另一端与开合单元相配合,当凸轮5与凸轮轴9接触时,凸轮轴9推动开合单元打开。
41.在本实施例的一种情况中,当坩埚组件1的坩埚4相对坩埚底座3进行转动时,带着坩埚4上的凸轮5与凸轮轴9间歇接触,当开始接触时凸轮5推动凸轮轴9向支撑件内部滑动,凸轮轴9与开合单元接触,将开合单元打开,开合单元上的sio2环6落在坩埚4上,当凸轮5越过凸轮轴9时,开合单元复位带着凸轮轴9复位,从而使得在下一次凸轮5再与凸轮轴9接触时再次进行放料,为提高凸轮轴9的滑动稳定性,在所述支撑件上开设有第一限位滑槽13,所述第一限位滑槽13内安装有与其滑动连接的滑轴15,所述滑轴15一端与凸轮轴9固定连
接,即通过滑轴15与第一限位滑槽13配合,保证凸轮轴9的滑动稳定性。
42.如图4
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6所示,作为本实用新型另一个优选的实施例,所述开合单元包括:
43.第一开合页10,一端设置在所述支撑件内并与其滑动连接;
44.第二开合页11,一端设置在所述支撑件内并与其滑动连接,用于与第一开合页10配合对sio2环6的通过进行控制;
45.弹性件,设置有两个,一个弹性件一端与第一开合页10伸出支撑件的一端相连,另一端与支撑件相连,另一个弹性件一端与第二开合页11伸出支撑件的一端相连,另一端与支撑件相连。
46.在本实施例的一种情况中,为保证第一开合页10和第二开合页11的滑动稳定性,在支撑件上开设有第二限位滑槽14,所述凸轮轴9一端可伸入第二限位滑槽14内,第二限位滑槽14内安装有两个对称设置的滑杆16,两个滑杆16分别与第一开合页10和第二开合页11固定连接,因此当凸轮轴9与滑杆16接触时,推动两个滑杆16向外滑动,从而带着第一开合页10与第二开合页11同步向外移动,此时弹性件拉伸,当凸轮5越过凸轮轴9时,凸轮轴9不受外力,此时在弹性件的作用下第一开合页10与第二开合页11带着滑杆16向内滑动,并将凸轮轴9向外挤出,为保证凸轮轴9与滑杆16可以稳定推动,在凸轮轴9和滑杆16上均开设有倒角,保证受力时可以相互推动。
47.如图4所示,作为本实用新型另一个优选的实施例,所述弹性件为拉簧12。
48.在本实施例的一种情况中,通过拉簧12使得第一开合页10和第二开合页11在向外滑动后可以稳定复位,另外弹性件还可以为弹簧,只要保证第一开合页10和第二开合页11可以稳定复位即可。
49.如图4所示,作为本实用新型另一个优选的实施例,所述支撑件包括:
50.送料底座7,用于安装放料件;
51.盖板8,与所述送料底座7配合。
52.在本实施例的一种情况中,通过送料底座7与盖板8配合,方便开设第一限位滑槽13和第二限位滑槽14,方便对滑杆16和滑轴15进行安装,另外方便拆卸后对内部结构进行维护,优选的,送料底座7与盖板8螺栓连接,方便拆装。
53.对于本领域技术人员而言,显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
54.此外,应当理解,虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案,说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见,本领域技术人员应当将说明书作为一个整体,各实施例中的技术方案也可以经适当组合,形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。技术特征:
1.凸轮传动送料机构,用于将sio2环逐个送入坩埚组件,其特征在于,所述机构包括:送料组件,所述送料组件包括:放料件,用于随坩埚组件上的坩埚转动而进行放料;支撑件,用于支撑放料件。2.根据权利要求1所述的凸轮传动送料机构,其特征在于,所述放料件包括:凸轮,固定安装在坩埚组件的坩埚外侧;开合单元,设置在所述支撑件上并与其滑动连接,当开合单元打开时sio2环能通过,当开合单元关闭时,sio2环不能通过;以及滑动设置在所述支撑件上的凸轮轴,所述凸轮轴一端与凸轮相配合,另一端与开合单元相配合,当凸轮与凸轮轴接触时,凸轮轴推动开合单元打开。3.根据权利要求2所述的凸轮传动送料机构,其特征在于,所述开合单元包括:第一开合页,一端设置在所述支撑件内并与其滑动连接;第二开合页,一端设置在所述支撑件内并与其滑动连接,用于与第一开合页配合对sio2环的通过进行控制;弹性件,设置有两个,一个弹性件一端与第一开合页伸出支撑件的一端相连,另一端与支撑件相连,另一个弹性件一端与第二开合页伸出支撑件的一端相连,另一端与支撑件相连。4.根据权利要求3所述的凸轮传动送料机构,其特征在于,所述弹性件为拉簧。5.根据权利要求1所述的凸轮传动送料机构,其特征在于,所述支撑件包括:送料底座,用于安装放料件;盖板,与所述送料底座配合。
技术总结
本实用新型涉及一种凸轮传动送料机构,属于真空镀膜技术领域,包括送料组件,所述送料组件包括:放料件,用于随坩埚组件上的坩埚转动而进行放料;支撑件,用于支撑放料件。本实用新型通过设置送料组件使其随着坩埚组件的转动同步将SiO2环逐个送入坩埚组件,无需设置额外的动力设备,降低了成本。降低了成本。降低了成本。
技术研发人员:张明
受保护的技术使用者:江苏葛西光学科技有限公司
技术研发日:2021.05.10
技术公布日:2021/11/17
声明:
“凸轮传动送料机构的制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)