n型topcon电池片及其制备方法
技术领域
1.本发明属于太阳能电池技术领域，具体而言，涉及n型topcon电池片及其制备方法。
背景技术：
2.目前光伏市场主流电池产品为p型perc电池，下一代的升级产品最大可能为n型topcon电池，常规工艺路线topcon电池硼扩散后需要进行背面抛光工艺，目的为去除硅片侧边及背面边缘硼扩散绕镀，同时形成背面小方块结构，增强背面钝化效果。为了兼容电池背面金属的接触性能，电池背面碱抛方块大小只能控制在～5μm，相对于方块尺寸更大(＞20um)的背面形貌结构，其钝化效果是相对较差，限制了电池性能的提升。
技术实现要素：
3.本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本发明的一个目的在于提出n型topcon电池片及其制备方法，其中，采用该制备方法既可以提高硅片背面的钝化效果，同时还能提高硅片背面金属电极与硅基体的接触性能，能够降低电池的电阻，同时提高电池的开路电压、填充因子和电池转化效率。
4.在本发明的一个方面，本发明提出了一种制备n型topcon电池片的方法。根据本发明的实施例，该方法包括：
5.(1)提供单面含有硼扩散的n型硅片；
6.(2)以所述硅片背离硼扩散的一侧为背面，对所述硅片进行背面抛光处理，以便在硅片背面形成预期尺寸的方块形貌；
7.(3)在步骤(2)得到的硅片背面沉积硅氧化合物层；
8.(4)对所述硅氧化合物层进行局部激光开槽，以便去除开槽部位的硅氧化合物层并对下层硅进行烧灼，形成倒金字塔结构；
9.(5)对步骤(4)得到的硅片进行背面腐蚀处理，并去除未激光区域的硅氧化合物层；
10.(6)在步骤(5)得到的硅片背面沉积隧穿氧化层和多晶硅层，
11.其中，所述硅片背面金属栅线设置在对应开槽图形的位置。
12.本发明上述实施例的制备n型topcon电池片的方法至少具有以下优点：1、对硅片背面进行抛光时可以在硅片背面形成尺寸更大的方块形貌，例如可以使方块尺寸达到20μm左右，相对于现有背面抛光形成的5μm左右的方块尺寸，本发明中可以形成更大的方块尺寸形貌，进而使得钝化膜在更大方块、平整的硅基体上沉积更加致密，钝化效果更好；2、硅片背面形成尺寸更大的方块形貌时，背面抛光控制的刻蚀量与常规工艺相比也较大，由此能够确保电池侧面、背面绕扩层被完全去除，保证较好的电池并联电阻，
声明：
“N型TopCon电池片及其制备方法与流程” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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编辑：中冶有色网
来源：泰州隆基乐叶光伏科技有限公司
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2025年06月06日 ~ 08日 
