1.本实用新型涉及一种传动系统,尤其涉及一种用于硅片分选机的传动系统。
背景技术:
2.he-wi-04型硅片分选机是在线检测硅片外观尺寸、电性能和外观缺陷的集成型检测设备,该设备将各个检测模组排列在检测区,通过传动系统,带动硅片通过各个检测模组进行检测。为了保证检测的准确性,对硅片在传动时的平稳程度要求较高。目前传动系统配备的为直径3mm的圆皮带,在检测边宽≤156mm*156mm尺寸的硅片时,具有稳定且减少遮挡硅片面积的优点,但是在检测≥182mm*182mm尺寸的硅片(后续简称大尺寸硅片)时,由于目前硅片常规厚度在150μm~160μm,硅片厚度薄,尺寸大,圆皮带接触面积小,导致硅片在传动的过程中抖动,影响检测效果。
3.因此,检测大尺寸硅片的he-wi-04型硅片分选机需要将传送皮带由圆皮带更换成宽度8mm~10mm的扁皮带,以增加传动过程中和硅片的接触面积,增强硅片在传动过程中的平稳程度。但是,由于圆皮带和扁皮带外观完全不同,旧有的圆皮带传动系统的结构部件不能匹配扁皮带,现有硅片分选机缺少匹配扁皮带的传动系统。
技术实现要素:
4.实用新型目的:本实用新型的目的是提供一种平稳运输、能够调节松紧度、用于硅片分选机的传动系统。
5.技术方案:本实用新型提出了一种用于硅片分选机的传动系统,包括数个与硅片分选机不同检测装置相对应的传动装置,各传动装置首尾对应布置,高度平齐,在相应驱动装置的驱动下同向运转;所述各传动装置包括皮带以及固定安装在硅片分选机上的皮带定位支架、主动带轮和从动带轮;所述皮带为扁平形皮带;所述皮带定位支架安装有可调整位置、改变皮带松紧度的限位带轮,限位带轮支撑于所述皮带的下半圈。
6.优选地,所述皮带定位支架设有上下多个定位孔,所述限位带轮安装于任一定位孔中。
7.优选地,所述皮带定位支架为l型结构,一端设有长圆孔,通过长圆孔安装在分选机上表面。
8.优选地,所述皮带定位支架安装于传动装置两端靠近主动带轮、从动带轮处,其中一端皮带定位支架的数量为两个,组合安装于皮带一侧,组合使用扩大皮带调节范围和层级。
9.优选地,所述同一端的两个皮带定位支架相对设置,一个内侧安装有所述限位带轮,一个外侧安装有所述限位带轮,利用不同的孔位能够使皮带具有不同的松紧度,可以根据需要进行调整。
10.优选地,所述各传动装置还包括设于皮带中部的导
声明:
“用于硅片分选机的传动系统的制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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