本发明涉及一种半导体制造工艺，特别涉及一种槽式湿法清洗设备的控制方法。
背景技术：
在半导体制造领域中，湿法刻蚀工艺通常采用槽式湿法清洗设备处理。如图1所示，传统的槽式湿法清洗设备，一个处理槽装一种化学药液，整个清洗设备由多个处理槽组成。在刻蚀工艺过程中硅片整体浸泡在充满化学药液的处理槽内，化学药液定期更换，以保证处理槽的清洁，从而保证产品的质量。某些化学药液需要频繁更换，而在其中任意一个处理槽更换化学药液过程中，硅片无法进行工艺处理。目前的槽式湿法清洗设备在对产品进行作业排序的时候往往采用产品先进机台先处理的顺序，未能考虑化学药液更换的因素，常常出现由于一个处理槽化学药液更换而出现的整个设备停止工作，从而导致浪费了槽式湿法清洗设备的利用率的现象。
如图1所示，传统的槽式湿法清洗设备的另一个缺点，是存在放置硅片的等待区域，大量的未处理硅片暂存在等待区域等待处理。由于机台采用的是产品先进机台先处理的顺序，所以灵活性较差。当有紧急的产品需要优先处理的时候，只能人为到现场把等待区域里的产品全部取出，然后让紧急的产品先进等待区等待，这一操作大大浪费了人力和时间，降低了产品的流通速度，从而降低了生产效率。
技术实现要素：
本发明所要解决的技术问题是，提供一种灵活性较好，能够提高流通速度和生产效率的槽式湿法清洗设备的控制方法。
为了解决上述技术问题，本发明的技术方案是：一种槽式湿法清洗设备的控制方法，所述的槽式湿法清洗设备包括清洗区域和未处理产品等待区域，所述的清洗区域包括多个化学药液处理槽，每个化学药液处理槽装有一种化学药液或者化学药液混合物，包括自动设定槽式湿法清洗设备中未处理产品等待区域内的未处理产品的派工等级的步骤，根据派工等级的先后顺序进行处理。
进一步的，本发明提供的槽式湿法清洗设备的控制方法，所述派工等级的步骤由连接于槽式湿法清洗设备的控制软件实现。
进一步的，本发明提供的槽式湿法清洗设备的控制方法，还包括手动设置槽式湿法清洗设备中未处理产品等待区域内的未处理产品的默认等级的步骤，常规选择默认等级的先后顺序进行处理；当出现紧急的产品需要优先处理时，选择派工等级的先后顺序进行处理，调整槽式湿法清洗设备中未处理产品等待区域内的未处理产品的派工等级，根据派工等级的先后顺序优先执行紧急的产品的清洗作业。
进一步的，本发明提供的槽式湿法清洗设备的控制方法，当紧急的产品不在槽式湿法清洗设备中未处理产品等待区域内时，最少仅需替换槽式湿法清洗设备中未处理产品等待区域内的其中一种未处理的产品，调整派工等级后，根据派工等级的先后顺序优先执行紧急的产品的清洗作业。
进一步的，本发明提供的槽式湿法清洗设备的控制方法，还包括当某个化学药液处理槽更换化学药液时，执行未处理产品等待区域内的其它未处理产品在未更换化学药液的其他化学药液处理槽中进行清洗作业的步骤。
进一步的，本发明提供的槽式湿法清洗设备的控制方法，还包括设定产品处理程序的步骤，当产品进入化学药液处理槽中进行清洗作业时，执行相应的产品处理程序。
进一步的，本发明提供的槽式湿法清洗设备的控制方法，还包括判定化学药液处理槽内的化学药液需要更换的时间的步骤。
进一步的，本发明提供的槽式湿法清洗设备的控制方法，在判定化学药液处理槽内的化学药液需要更换的时间的步骤中，具体包括
步骤一，读取槽式湿法清洗设备中每个化学药液处理槽的信息，包括化学药液的更换时间；
步骤二，根据设定产品处理程序与化学药液处理槽一一对应关系，通过分析产品处理程序得到产品需要经过的化学药液处理槽；
步骤三，根据化学药液处理槽内的化学药液的使用时间和/或使用次数判定是否需要更换。
进一步的，本发明提供的槽式湿法清洗设备的控制方法，在每个化学药液处理槽完成产品的清洗作业后，还包括使用纯水处理槽对该产品进行水清洗的步骤。
本发明提供的槽式湿法清洗设备的控制方法，当选择派工等级的顺序进行处理时，则可以自动的调整未处理产品等待区域内的未处理产品的派工等级的先后顺序，从而使槽式湿法清洗设备优先执行紧急的产品的清洗作业，其具有灵活性较好，不必浪费大量的人力成本和时间成本，从而提高产品在槽式湿法清洗设备中的流通速度。通过自动调整派工顺序，还提高了产品的生产效率。
附图说明
图1是现有的槽式湿法清洗设备的结构示意图；
图2是本发明的槽式湿法清洗设备的控制方法的流程示意图；
图3是本发明更换化学药液时的控制流程示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作详细描述：
实施例一
如图2所示，本实施例一提供一种槽式湿法清洗设备的控制方法，所述的槽式湿法清洗设备包括清洗区域和未处理产品等待区域U，所述的清洗区域包括多个化学药液处理槽T，每个化学药液处理槽装有一种化学药液或者化学药液混合物，包括自动设定槽式湿法清洗设备中未处理产品P等待区域内的未处理产品的派工等级的步骤，根据派工等级的先后顺序进行处理。本实施例中示例了两个化学药液处理槽T1和T2和两个纯水处理槽W1和W2，未处理产品示例了3个分别为P1、P2、P3。
本实施例一中，当选择派工等级的顺序进行处理时，则可以自动的调整未处理产品等待区域内的未处理产品的派工等级的先后顺序，从而使槽式湿法清洗设备优先执行紧急的产品的清洗作业，其具有灵活性较好，节省大量的人力成本和时间成本，由于自动调整的速度要比人工调整的速度要快，因此，本实施例一提高了产品在槽式湿法清洗设备中的流通速度。另外，通过自动调整派工顺序，还提高了产品的生产效率。
作为较佳的实施方式，本实施例一中派工等级的步骤由连接于槽式湿法清洗设备的控制软件实现。控制软件可以安装在设置在槽式湿法清洗设备的内部，或者通过外部存储设备等连通。使用控制软件的优点在于，其可以设定调整界面，便于槽式湿法清洗设备的调整。
作为较佳的实施方式，本实施例一中还包括手动设置槽式湿法清洗设备中未处理产品等待区域内的未处理产品的默认等级的步骤，常规选择默认等级的先后顺序进行处理；当出现紧急的产品需要优先处理时，选择派工等级的先后顺序进行处理，调整槽式湿法清洗设备中未处理产品等待区域内的未处理产品的派工等级，根据派工等级的先后顺序优先执行紧急的产品的清洗作业。即本实施例一中选择默认等级的先后顺序处理的步骤，将产品放置到槽式湿法清洗设备的未处理产品的等待区域后，当没有紧急的产品优先处理时，则可以选择默认等级的先后顺序进行处理。从而使本实施例一控制方法的灵活性、通用性和兼容性较好。
作为较佳的实施方式，本实施例一中提供的槽式湿法清洗设备的控制方法，当紧急的产品不在槽式湿法清洗设备中未处理产品等待区域内时，最少仅需替换槽式湿法清洗设备中未处理产品等待区域内的其中一种未处理的产品，调整派工等级后，根据派工等级的先后顺序优先执行紧急的产品的清洗作业。而无需将未处理产品等待区域内的全部产品取出后，再次人工安排产品的放置顺序，从而节约了人工成本和放置产品顺序的时间。
作为较佳的实施方式，本实施例一中提供的槽式湿法清洗设备的控制方法，在每个化学药液处理槽完成产品的清洗作业后，还包括使用纯水处理槽对该产品进行水清洗的步骤。从而保证湿法刻蚀后的产品的表面清洁度。
实施例二
如图3所示，本实施例二提供的槽式湿法清洗设备的控制方法，包括当某个化学药液处理槽例如T1更换化学药液时，执行未处理产品等待区域内的其它未处理产品例如P2在未更换化学药液的其他化学药液处理槽例如T2中进行清洗作业的步骤。本实施例二的方案可以单独使用，也可以与实施例一组合使用，在更换化学药液时，不必停止槽式湿法清洗设备的工作程序，而是选择执行其它未处理产品在未更换化学药液的其他化学药液处理槽进行清洗作业的方式，从而克服了产品先进设备先处理的顺序的缺陷，提高了槽式湿法清洗设备的利用率，进而提高了产品的生产效率。
作为较佳的实施方式，本实施例二提供的槽式湿法清洗设备的控制方法，还包括设定产品处理程序的步骤，当产品进入化学药液处理槽中进行清洗作业时，执行相应的产品处理程序。也就是说，每个不同的产品可以选择一个相应的产品处理程序。从而达到精确控制以及相关产品的清洗作业的目的。若每个化学药液处理槽都选择同一处理程序，则会造成不可估量的后果。
作为较佳的实施方式，本实施例二提供的槽式湿法清洗设备的控制方法，还包括判定化学药液处理槽内的化学药液需要更换的时间的步骤。具体包括
步骤一，读取槽式湿法清洗设备中每个化学药液处理槽的信息，包括化学药液的更换时间；
步骤二，根据设定产品处理程序与化学药液处理槽一一对应关系，通过分析产品处理程序得到产品需要经过的化学药液处理槽；
步骤三，根据化学药液处理槽内的化学药液的使用时间和/或使用次数判定是否需要更换。
本实施例中，化学药液的更换可以自动更换，也可以人工更换。
上述实施例一和实施例二的产品，是指硅片、锗片或者其它类似物。
本发明不限于上述具体实施方式，凡在本发明的精神和范围内所作出的各种变化，均在本发明的保护范围。
技术特征：
1.一种槽式湿法清洗设备的控制方法，所述的槽式湿法清洗设备包括清洗区域和未处理产品等待区域，所述的清洗区域包括多个化学药液处理槽，每个化学药液处理槽装有一种化学药液或者化学药液混合物，其特征在于，包括自动设定槽式湿法清洗设备中未处理产品等待区域内的未处理产品的派工等级的步骤，根据派工等级的先后顺序进行处理。
2.如权利要求1所述的槽式湿法清洗设备的控制方法，其特征在于，所述派工等级的步骤由连接于槽式湿法清洗设备的控制软件实现。
3.如权利要求1所述的槽式湿法清洗设备的控制方法，其特征在于，还包括手动设置槽式湿法清洗设备中未处理产品等待区域内的未处理产品的默认等级的步骤，常规选择默认等级的先后顺序进行处理；当出现紧急的产品需要优先处理时，选择派工等级的先后顺序进行处理，调整槽式湿法清洗设备中未处理产品等待区域内的未处理产品的派工等级，根据派工等级的先后顺序优先执行紧急的产品的清洗作业。
4.如权利要求3所述的槽式湿法清洗设备的控制方法，其特征在于，当紧急的产品不在槽式湿法清洗设备中未处理产品等待区域内时，最少仅需替换槽式湿法清洗设备中未处理产品等待区域内的其中一种未处理的产品，调整派工等级后，根据派工等级的先后顺序优先执行紧急的产品的清洗作业。
5.如权利要求1所述的槽式湿法清洗设备的控制方法，其特征在于，还包括当某个化学药液处理槽更换化学药液时，执行未处理产品等待区域内的其它未处理产品在未更换化学药液的其他化学药液处理槽中进行清洗作业的步骤。
6.如权利要求5所述的槽式湿法清洗设备的控制方法，其特征在于，还包括设定产品处理程序的步骤，当产品进入化学药液处理槽中进行清洗作业时，执行相应的产品处理程序。
7.如权利要求6所述的槽式湿法清洗设备的控制方法，其特征在于，还包括判定化学药液处理槽内的化学药液需要更换的时间的步骤。
8.如权利要求7所述的槽式湿法清洗设备的控制方法，其特征在于，在判定化学药液处理槽内的化学药液需要更换的时间的步骤中，具体包括
步骤一，读取槽式湿法清洗设备中每个化学药液处理槽的信息，包括化学药液的更换时间；
步骤二，根据设定产品处理程序与化学药液处理槽一一对应关系，通过分析产品处理程序得到产品需要经过的化学药液处理槽；
步骤三，根据化学药液处理槽内的化学药液的使用时间和/或使用次数判定是否需要更换。
9.如权利要求1所述的槽式湿法清洗设备的控制方法，其特征在于，在每个化学药液处理槽完成产品的清洗作业后，还包括使用纯水处理槽对该产品进行水清洗的步骤。
技术总结
本发明公开了一种槽式湿法清洗设备的控制方法，所述的槽式湿法清洗设备包括清洗区域和未处理产品等待区域，所述的清洗区域包括多个化学药液处理槽，每个化学药液处理槽装有一种化学药液或者化学药液混合物，包括自动设定槽式湿法清洗设备中未处理产品等待区域内的未处理产品的派工等级的步骤，根据派工等级的先后顺序进行处理。本发明灵活性较好，能够提高流通速度和生产效率。
技术研发人员：王春伟;李阳柏;张传民;陈建维
受保护的技术使用者：上海华力微电子有限公司
文档号码：201611041014
技术研发日：2016.11.23
技术公布日：2017.02.22
声明：
“槽式湿法清洗设备的控制方法与流程” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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编辑：中冶有色技术网
来源：上海华力微电子有限公司;
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2024年08月30日 ~ 09月01日 
