本实用新型公开了一种新型三氯氢硅的合成生产装置,包括合成塔、一级旋风
除尘器、二级旋风除尘器、湿法喷淋装置和废气预处理装置,所述合成塔、废气预处理装置、一级旋风除尘器、二级旋风除尘器和湿法喷淋装置按照由左到右的顺序连接,废气预处理装置包括水泵、中和沉淀池、三氯氢硅检测报警器和箱体,箱体水平设置,箱体的左端为进气端,右端为排气端,箱体内设有多个活性炭吸附板和喷头,多个活性炭吸附板分别设于箱体的进气端和排气端,喷头设在箱体顶部,箱体底部设有凹陷的废水收集槽,废水收集槽、中和沉淀池、水泵和喷头依次通过输水管道相连接,三氯氢硅检测报警器设于箱体上部。本实用新型除尘效率高,经济效益好,安全可靠。
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