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弹性波装置

944   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 00:54:57
一种弹性波装置包括:压电基板,主要包含铌酸锂;叉指换能器电极,设置在压电基板上;以及电介质膜,设置在压电基板上,以便覆盖叉指换能器电极,主要包含氧化硅。弹性波装置使用瑞利波。叉指换能器电极包括多个主电极层(electrolyte)。多个主电极层包括一个或多个第一主电极层,所述一个或多个第一主电极层由针对弹性常数C11以及弹性常数C12而言C112/C12比大于氧化硅的C112/C12比的金属制成。在将所述叉指换能器电极整体的厚度是约100%时,所述一个或多个第一主电极层的厚度的总和是约55%或更多。
声明:
“弹性波装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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