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钛-铝-钛金属层叠膜用蚀刻液组合物

717   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 00:25:33
本发明涉及一种由钛金属膜、铝金属膜及钛金属膜组成的钛-铝-钛金属层叠膜用蚀刻液组合物。该组合物由氟化物、氧化性酸、非氧化性碱金属盐以及水组成。其中，非氧化性碱金属盐优选为水溶性的锂、钾、钠盐中的至少一种；氟化物、氧化性酸和非氧化性碱金属盐的质量百分浓度分别为0.01~5%、0.1~30%和0.0004~0.35%。与现有技术相比，本发明的优点在于，可以将三层金属层叠膜一起进行蚀刻，并可有效降低侧蚀量、提高蚀刻均匀性，得到的锥角在25度以下；另外，该蚀刻液组合物不采用价格昂贵的盐类辅助氧化剂，而是采用价格更为低廉的非氧化性盐类或其混合物，降低了生产成本，达到了成本和性能的平衡。
声明：
“钛-铝-钛金属层叠膜用蚀刻液组合物” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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