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树脂材料、乙烯树脂制袋、多晶硅棒、多晶硅块

581   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 00:24:30
在本发明中，制造多晶硅时，一直使用下述的杂质表面浓度的树脂材料。以1重量％的硝酸水溶液作为提取液利用ICP质谱分析法进行定量分析而得到的值是：磷(P)浓度为50pptw以下，砷(As)浓度为2pptw以下，硼(B)浓度为20pptw以下，铝(Al)浓度为10pptw以下，铁(Fe)、铬(Cr)、镍(Ni)、铜(Cu)、钠(Na)、锌(Zn)这6种元素的合计为80pptw以下，锂(Li)、钾(K)、钙(Ca)、钛(Ti)、锰(Mn)、钴(Co)、钼(Mo)、锡(Sn)、钨(W)、铅(Pb)这10种元素的合计为100pptw以下。
声明：
“树脂材料、乙烯树脂制袋、多晶硅棒、多晶硅块” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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